Le revêtement par évaporation sous vide est une méthode de base de revêtement par évaporation sous vide. Le terme « évaporation » désigne une méthode de préparation de couches minces dans laquelle le matériau de revêtement est chauffé et vaporisé dans une chambre à vide. Les atomes ou molécules du matériau se vaporisent et s'échappent de la surface, créant un flux de vapeur qui atteint la surface du substrat et se condense finalement pour former un film solide.
La méthode dite de revêtement de la source d'évaporation par résistance consiste à utiliser du tantale, du molybdène, du tungstène et d'autres métaux à point de fusion élevé pour façonner une source d'évaporation de forme appropriée. Cette source est chargée avec les matériaux à évaporer, puis un flux d'air la traverse pour chauffer et vaporiser directement ces matériaux. Une autre méthode consiste à placer les matériaux à évaporer dans des creusets en alumine, en oxyde de béryllium ou autres matériaux pour un chauffage et une évaporation indirects. Il s'agit alors de la méthode d'évaporation par chauffage par résistance.
Lemachine de revêtement par évaporation sous videLe chauffage et l'évaporation par résistance présentent l'avantage d'une structure simple, d'un faible coût et d'une grande fiabilité. Il convient au revêtement par évaporation de matériaux à bas point de fusion, notamment pour la production en série où les exigences en matière de qualité de revêtement sont faibles. À ce jour, de nombreux procédés de revêtement par chauffage et évaporation par résistance sont encore utilisés dans la fabrication de miroirs aluminisés.
Les inconvénients de la méthode de revêtement par évaporation à résistance sont la température maximale atteignable et la durée de vie réduite de l'élément chauffant. Ces dernières années, afin d'améliorer la durée de vie de la source d'évaporation, les fabricants d'équipements ont adopté un matériau céramique conducteur à base de nitrure de bore, reconnu pour sa longue durée de vie. Selon un brevet japonais, il est possible d'utiliser des matériaux composés de 20 à 30 % de nitrure de bore et de matériaux réfractaires fusionnables pour fabriquer la source d'évaporation (creuset), puis de revêtir sa surface d'une couche de zirconium contenant de 62 à 82 % de zirconium, le reste étant constitué d'un alliage zirconium-silicium.
Date de publication : 22 avril 2023