Kas yra atsparumo garavimo šaltinio danga?

Atspari garavimo šaltinio danga yra pagrindinis vakuuminio garavimo dengimo metodas.„Išgarinimas“ reiškia plonos plėvelės paruošimo metodą, kai dangos medžiaga vakuuminėje kameroje kaitinama ir išgarinama taip, kad medžiagos atomai arba molekulės išgaruotų ir pasišalintų nuo paviršiaus, sudarydamos garų srauto reiškinį, patenkantį ant paviršiaus. substratas arba substratas ir galiausiai kondensuojamas, kad susidarytų vientisa plėvelė.

Vadinamasis atsparaus garavimo šaltinio dengimo metodas yra naudoti tantalą, molibdeną, volframą ir kitus aukštos lydymosi temperatūros metalus, kad būtų sukurta atitinkama garavimo šaltinio forma, kuri yra pripildyta garintinų medžiagų, leisti orui tekėti, tiesiogiai šildyti ir išgarinti išgarintas medžiagas arba išgarintinas medžiagas sudėti į aliuminio oksidą, berilio oksidą ir kitus tiglius, skirtus netiesioginiam kaitinimui ir garinimui.Tai varžinio šildymo garinimo metodas.

Thevakuuminio garinimo dengimo mašinašildomas ir išgarinamas atsparumo šildytuvu, turi paprastos konstrukcijos, mažos kainos ir patikimo naudojimo pranašumus.Jis gali būti naudojamas žemos lydymosi temperatūros medžiagų garinimui, ypač masinei gamybai, kai dangos kokybei keliami žemi reikalavimai.Iki šiol aliuminizuotų veidrodžių gamyboje vis dar yra daug atsparaus šildymo ir garavimo dangos procesų.

Atsparaus garavimo šaltinio garinimo dengimo metodo trūkumai yra tai, kad maksimali temperatūra, kurią galima pasiekti kaitinant, yra ribota, o šildytuvo tarnavimo laikas taip pat trumpas.Pastaraisiais metais, siekdama pagerinti atsparaus garavimo šaltinio tarnavimo laiką, įrangos gamykla kaip garavimo šaltinį panaudojo laidžią keraminę medžiagą, sintezuotą iš boro nitrido, kurios ilgaamžiškumas.Remiantis Japonijos patento ataskaita, jame gali būti naudojamos medžiagos, sudarytos iš 20–30 % boro nitrido ir ugniai atsparių medžiagų, kurios gali būti sulydomos su juo, kad būtų garavimo šaltinis (tiglis), ir padengti jo paviršių cirkonio sluoksniu, kuriame yra 62 %. ~82%, o likusi dalis yra cirkonio-silicio lydinio medžiagos.