Пӯшиши манбаи бухоршавии муқовимат як усули асосии пӯшиши бухоршавии вакуумӣ мебошад. "Бухоршавӣ" ба усули тайёр кардани плёнкаи тунук ишора мекунад, ки дар он маводи пӯшиш дар камераи вакуумӣ гарм ва бухор карда мешавад, то ки атомҳо ё молекулаҳои мавод бухор шуда, аз сатҳ берун шаванд ва падидаи ҷараёни буғро ба вуҷуд оранд, ки ба сатҳи субстрат ё субстрат афтад ва дар ниҳоят конденсатсия шуда, плёнкаи сахтро ташкил диҳанд.
Усули пӯшонидани манбаъи бухоршавии муқовиматӣ, ки ба ном манбаи бухоршавии муқовиматӣ номида мешавад, истифодаи тантал, молибден, волфрам ва дигар металлҳои нуқтаи баланди обшавӣ барои сохтани шакли мувофиқи манбаи бухоршавӣ мебошад, ки бо маводҳои бухоршаванда пур карда мешавад, ба ҳаво имкон медиҳад, ки аз он гузарад, маводҳои бухоршударо мустақиман гарм ва бухор кунад ё маводҳои бухоршавандаро ба алюминий, оксиди бериллий ва дигар тигелҳо барои гармкунӣ ва бухоркунии ғайримустақим гузорад. Ин усули бухоршавии гармкунии муқовиматӣ мебошад.
Дармошини пӯшонидани бухоршавии вакуумӣгармкунаки муқовиматӣ бо истифода аз гармкунаки муқовиматӣ гарм ва бухоршаванда бартариҳои сохтори содда, арзиши паст ва истифодаи боэътимодро дорад. Онро барои пӯшонидани бухоршавии маводҳо бо нуқтаи обшавии паст, махсусан барои истеҳсоли оммавӣ бо талаботи паст ба сифати пӯшиш истифода бурдан мумкин аст. То ҳол, дар истеҳсоли оинаҳои алюминийӣ шумораи зиёди равандҳои пӯшонидани гармкунии муқовимат ва бухоршавӣ истифода мешаванд.
Камбудиҳои усули пӯшонидани бухоршавии манбаи бухоршавии муқовимат дар он аст, ки ҳарорати максималие, ки бо гармкунӣ ба даст оварда мешавад, маҳдуд аст ва мӯҳлати хизмати гармкунак низ кӯтоҳ аст. Дар солҳои охир, барои беҳтар кардани мӯҳлати хизмати манбаи бухоршавии муқовимат, корхонаи таҷҳизот маводи керамикии ноқилро, ки аз ҷониби нитриди бор синтез карда шудааст ва мӯҳлати хизмати дарозро ҳамчун манбаи бухоршавӣ қабул кардааст. Тибқи гузориши патенти Ҷопон, он метавонад маводеро истифода барад, ки аз нитриди бор 20% ~ 30% ва маводҳои оташгиранда иборатанд, ки метавонанд бо он омехта карда шаванд, то манбаи бухоршавӣ (тигель)-ро созанд ва сатҳи онро бо қабати цирконий, ки 62% ~ 82% дорад, пӯшонад ва боқимонда маводҳои хӯлаи цирконий-кремний мебошанд.
Вақти нашр: 22 апрели соли 2023