Garşylykly bugaryş çeşmesiniň örtügi esasy wakuum bugaryş örtük usulydyr. “Bugaryş” wakuum kamerasyndaky örtük materialynyň gyzdyrylyp we bugaryp, material atomlarynyň ýa-da molekulalarynyň bugaryp, ýüzünden çykyp, bugaryş akymy hadysasyny emele getirip, substratyň ýa-da substratyň ýüzüne düşüp, ahyrsoňy berk plýonka emele getirmek üçin kondensasiýa edilýän inçe plýonka taýýarlamak usulyna degişlidir.
Garşylykly bugaryş çeşmesiniň örtük usuly diýilýän usul, bugaryş çeşmesiniň degişli görnüşini döretmek üçin tantal, molibden, volfram we beýleki ýokary ereýän metallary ulanmakdan ybaratdyr, bu bolsa bugaryş üçin materiallar bilen doldurylýar, howanyň geçmegine rugsat berilýär, bugaryş materiallary gönüden-göni gyzdyrylýar we bugaryşdyrylýar ýa-da bugaryş üçin materiallary gönüden-göni gyzdyrmak we bugaryşdyrmak üçin alýumin oksidine, berilliý oksidine we beýleki tigellere goýulýar. Bu garşylykly gyzdyryş bugaryş usulydyr.
Thewakuum buharlandyryş örtük maşynyGarşylykly gyzdyryjy arkaly gyzdyrylyp we bugarylyp, gurluşyň ýönekeýligi, arzanlygy we ygtybarly ulanylyşynyň artykmaçlyklary bar. Ol pes ereme nokady bolan materiallary bugaryp örtmek üçin, esasanam örtügiň hiline pes talaplar bilen köpçülikleýin önümçilik üçin ulanylyp bilner. Häzirki wagta çenli alýuminleşdirilen aýnalaryň önümçiliginde garşylykly gyzdyryp we bugaryp örtmek prosesleriniň köpüsi ulanylýar.
Garşylykly bugaryş çeşmesiniň bugaryş örtük usulynyň kemçilikleri, gyzdyrmak arkaly ýetip boljak iň ýokary temperaturanyň çäkli bolmagy we gyzdyryjynyň hyzmat ediş möhletiniň hem gysga bolmagydyr. Soňky ýyllarda, garşylykly bugaryş çeşmesiniň ömrüni gowulandyrmak üçin, enjam zawody bugaryş çeşmesi hökmünde bor nitridi tarapyndan sintezlenen uzak ömürli geçiriji keramiki materialy kabul etdi. Ýaponiýanyň patent hasabatyna görä, ol bugaryş çeşmesini (tigel) ýasamak üçin 20% ~ 30% bor nitridinden we onuň bilen eredilip bilinýän oda çydamly materiallardan ybarat materiallary ulanyp, onuň ýüzüni 62% ~ 82% saklaýan sirkoniý gatlagy bilen örtmek mümkin, galanlary bolsa sirkoniý-kremniý garyndysy materiallarydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 22-nji apreli