Garşylyk bugarmak çeşmesiniň örtügi wakuum bugarmagyň esasy usulydyr.“Bugarmak” wakuum kamerasyndaky örtük materialy gyzdyrylýar we buglanýar, material atomlary ýa-da molekulalary bugaryp, ýerden gaçyp, bug akymynyň hadysasyny emele getirýän inçe film taýýarlamak usulyna degişlidir. substrat ýa-da substrat we iň soňunda gaty film döretmek üçin kondensirlenendir.
Garşylyk bugarmak çeşmesiniň örtük usuly diýilýän zat, bugarmak üçin materiallar bilen ýüklenen bugarmak çeşmesiniň degişli görnüşini döretmek üçin tantal, molibden, wolfram we beýleki ýokary eriş nokatlaryndan peýdalanmakdyr, howanyň akmagyna, gönüden-göni gyzmagyna we bugarýan materiallary bugarmak ýa-da gytaklaýyn ýylatmak we bugarmak üçin alýumin, berilý oksidi we beýleki haçly böleklere bugarmaly materiallary goýuň.Bu garşylygy ýylatmagyň bugarmak usulydyr.
Thewakuum bugarýan örtük maşyngarşylyk gyzdyryjy bilen gyzdyrylýan we bugarmak ýönekeý gurluşyň, arzan bahaly we ygtybarly ulanmagyň artykmaçlyklaryna eýedir.Pes ereýän nokady bolan materiallaryň bugarmak örtügi üçin, esasanam örtügiň hiline pes talaplary bolan köpçülikleýin önümçilik üçin ulanylyp bilner.Häzirki wagta çenli alýuminizirlenen aýnalary öndürmekde ulanylýan garşylykly ýyladyş we bugarmak ýaly köp sanly örtük prosesi bar.
Garşylyk bugarmak çeşmesiniň bugarmak örtük usulynyň kemçilikleri, ýyladyş arkaly ýetip boljak iň ýokary temperaturanyň çäklidigi we gyzdyryjynyň iş möhletiniň hem gysga bolmagydyr.Soňky ýyllarda garşylyk bugarmak çeşmesiniň ömrüni gowulandyrmak üçin enjamlar zawody, bug nitridi bilen uzak ömri bugarmak çeşmesi hökmünde sintezlenýän geçiriji keramiki materialy kabul etdi.Japaneseaponiýanyň patent hasabatyna görä, bugarmak çeşmesini (wajyp) etmek üçin 20% ~ 30% bor nitridinden we refrakter materiallardan peýdalanyp, ýüzüni 62% öz içine alýan sirkon gatlagy bilen örtüp biler. ~ 82%, galanlary sirkonium-kremniý garyndy materiallary.
Iş wagty: 22-2023-nji aprel