Benvido a Guangdong Zhenhua Technology Co.,Ltd.
bandeira única

Que é o revestimento da fonte de evaporación de resistencia?

Fonte do artigo: Zhenhua vacuum
Ler: 10
Publicado: 23-04-22

O revestimento de fonte de evaporación de resistencia é un método básico de revestimento de evaporación ao baleiro."Evaporación" refírese a un método de preparación de película delgada no que o material de revestimento da cámara de baleiro quenta e evapora, de xeito que os átomos ou moléculas do material se vaporizan e escapan da superficie, formando un fenómeno de fluxo de vapor, que incide na superficie do substrato ou substrato, e finalmente condensado para formar unha película sólida.

cof

O chamado método de revestimento da fonte de evaporación de resistencia consiste en usar tántalo, molibdeno, wolframio e outros metais de alto punto de fusión para crear unha forma adecuada de fonte de evaporación, que está cargada de materiais a evaporar, deixar fluír o aire, quentar directamente e evaporar os materiais evaporados ou poñer os materiais a evaporar en alúmina, óxido de berilio e outros crisols para quecemento e evaporación indirectos.Este é o método de evaporación de calefacción por resistencia.

Omáquina de recubrimento por evaporación ao baleiroCalefacción e evaporación por resistencia quentador ten as vantaxes de estrutura simple, baixo custo e uso fiable.Pódese usar para o revestimento por evaporación de materiais con baixo punto de fusión, especialmente para a produción en masa con baixos requisitos para a calidade do revestimento.Ata o momento, aínda hai un gran número de procesos de revestimento de quecemento por resistencia e evaporación postos en uso na produción de espellos aluminizados.

As desvantaxes do método de revestimento de evaporación da fonte de evaporación de resistencia son que a temperatura máxima que se pode alcanzar mediante o quecemento é limitada e a vida útil do aquecedor tamén é curta.Nos últimos anos, para mellorar a vida útil da fonte de evaporación de resistencia, a fábrica de equipos adoptou o material cerámico condutor sintetizado por nitruro de boro cunha longa vida útil como fonte de evaporación.Segundo un informe de patente xaponesa, pode usar materiais compostos dun 20% ~ 30% de nitruro de boro e materiais refractarios que se poden fundir con el para facer a fonte de evaporación (crisol) e recubrir a súa superficie cunha capa de circonio que contén un 62% ~82%, e o resto son materiais de aliaxe de circonio-silicio.


Hora de publicación: 22-Abr-2023