Τι είναι η επίστρωση πηγής εξάτμισης αντίστασης;

Η επίστρωση πηγής εξάτμισης με αντίσταση είναι μια βασική μέθοδος επίστρωσης εξάτμισης υπό κενό.Η «εξάτμιση» αναφέρεται σε μια μέθοδο παρασκευής λεπτής μεμβράνης στην οποία το υλικό επικάλυψης στον θάλαμο κενού θερμαίνεται και εξατμίζεται, έτσι ώστε τα άτομα ή τα μόρια του υλικού να εξατμίζονται και να διαφεύγουν από την επιφάνεια, σχηματίζοντας ένα φαινόμενο ροής ατμού, που προσπίπτει στην επιφάνεια του υπόστρωμα ή υπόστρωμα, και τελικά συμπυκνώνεται για να σχηματιστεί ένα στερεό φιλμ.

Η λεγόμενη μέθοδος επίστρωσης πηγής εξάτμισης αντίστασης είναι η χρήση τανταλίου, μολυβδαινίου, βολφραμίου και άλλων μετάλλων υψηλού σημείου τήξης για να δημιουργηθεί ένα κατάλληλο σχήμα πηγής εξάτμισης, η οποία είναι φορτωμένη με υλικά προς εξάτμιση, αφήνοντας τον αέρα να ρέει, να θερμαίνεται απευθείας και εξατμίστε τα εξατμισμένα υλικά ή βάλτε τα προς εξάτμιση υλικά σε αλουμίνα, οξείδιο του βηρυλλίου και άλλα χωνευτήρια για έμμεση θέρμανση και εξάτμιση.Αυτή είναι η μέθοδος εξάτμισης θέρμανσης με αντίσταση.

ομηχάνημα επίστρωσης εξάτμισης κενούπου θερμαίνεται και εξατμίζεται με θερμαντήρα αντίστασης έχει τα πλεονεκτήματα της απλής δομής, του χαμηλού κόστους και της αξιόπιστης χρήσης.Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για επίστρωση εξάτμισης υλικών με χαμηλό σημείο τήξης, ειδικά για μαζική παραγωγή με χαμηλές απαιτήσεις ποιότητας επίστρωσης.Μέχρι στιγμής, υπάρχει ακόμη ένας μεγάλος αριθμός διεργασιών επίστρωσης θέρμανσης με αντίσταση και εξάτμιση που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή αλουμινισμένων κατόπτρων.

Τα μειονεκτήματα της μεθόδου επίστρωσης εξάτμισης πηγής εξάτμισης αντίστασης είναι ότι η μέγιστη θερμοκρασία που μπορεί να επιτευχθεί με θέρμανση είναι περιορισμένη και η διάρκεια ζωής του θερμαντήρα είναι επίσης μικρή.Τα τελευταία χρόνια, προκειμένου να βελτιωθεί η διάρκεια ζωής της πηγής εξάτμισης αντίστασης, το εργοστάσιο εξοπλισμού έχει υιοθετήσει το αγώγιμο κεραμικό υλικό που συντίθεται από νιτρίδιο βορίου με μεγάλη διάρκεια ζωής ως πηγή εξάτμισης.Σύμφωνα με μια έκθεση ιαπωνικής ευρεσιτεχνίας, μπορεί να χρησιμοποιήσει υλικά που αποτελούνται από 20% ~ 30% νιτρίδιο βορίου και πυρίμαχα υλικά που μπορούν να συντηχθούν μαζί του για να φτιάξουν την πηγή εξάτμισης (χωνευτήριο) και να επικαλύψουν την επιφάνειά του με ένα στρώμα ζιρκονίου που περιέχει 62% ~82%, και τα υπόλοιπα είναι υλικά από κράμα ζιρκονίου-πυριτίου.