저항 증착 소스 코팅은 기본적인 진공 증착 코팅 방법입니다. "증발"이란 진공 챔버 내에서 코팅 재료를 가열하여 증발시키는 박막 제조 방법을 말합니다. 이때 재료의 원자 또는 분자가 기화되어 표면에서 빠져나가면서 증기 흐름 현상을 일으키고, 이 증기 흐름이 기판 또는 기판 표면에 충돌하여 최종적으로 응축되어 고체 박막을 형성합니다.
소위 저항 가열 증발 코팅 방법은 탄탈륨, 몰리브덴, 텅스텐 등의 고융점 금속을 사용하여 적절한 형상의 증발원을 제작하고, 여기에 증발시킬 물질을 넣은 후 공기를 통과시켜 직접 가열하여 증발시키거나, 알루미나, 산화베릴륨 등의 도가니에 증발시킬 물질을 넣어 간접 가열 및 증발시키는 방식입니다. 이것이 바로 저항 가열 증발 방법입니다.
그만큼진공 증발 코팅기저항 가열기를 이용한 가열 및 증발 코팅은 구조가 간단하고 비용이 저렴하며 신뢰성이 높다는 장점이 있습니다. 특히 코팅 품질에 대한 요구 조건이 낮은 대량 생산에 적합하며, 융점이 낮은 재료의 증발 코팅에 유용하게 사용될 수 있습니다. 현재까지도 알루미늄 거울 생산에 저항 가열 및 증발 코팅 공정이 많이 활용되고 있습니다.
저항 증발 소스 증착 코팅 방식의 단점은 가열로 도달할 수 있는 최대 온도가 제한적이고 히터의 수명 또한 짧다는 것입니다. 최근 저항 증발 소스의 수명을 향상시키기 위해 장비 제조업체들은 수명이 긴 질화붕소 합성 전도성 세라믹 소재를 증발 소스로 채택하고 있습니다. 일본 특허 보고서에 따르면, 20~30%의 질화붕소와 이를 용융할 수 있는 내화 재료로 구성된 재료를 사용하여 증발 소스(도가니)를 제작하고, 그 표면에 62~82%의 지르코늄을 함유한 층과 나머지는 지르코늄-실리콘 합금 재료로 코팅할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 4월 22일