Il rivestimento mediante evaporazione a resistenza è un metodo di base di rivestimento per evaporazione sottovuoto. Il termine "evaporazione" si riferisce a un metodo di preparazione di film sottili in cui il materiale di rivestimento viene riscaldato e fatto evaporare all'interno di una camera a vuoto, in modo che gli atomi o le molecole del materiale vaporizzino e fuoriescano dalla superficie, formando un flusso di vapore che incide sulla superficie del substrato e infine si condensa per formare un film solido.
Il cosiddetto metodo di rivestimento della sorgente di evaporazione a resistenza consiste nell'utilizzare tantalio, molibdeno, tungsteno e altri metalli ad alto punto di fusione per realizzare una sorgente di evaporazione di forma appropriata, che viene caricata con i materiali da evaporare, lasciando fluire l'aria attraverso di essa per riscaldare ed evaporare direttamente i materiali, oppure inserendo i materiali da evaporare in crogioli di allumina, ossido di berillio e altri materiali per il riscaldamento e l'evaporazione indiretta. Questo è il metodo di evaporazione a riscaldamento a resistenza.
ILmacchina per rivestimento a evaporazione sottovuotoIl processo di riscaldamento ed evaporazione tramite resistenza elettrica presenta i vantaggi di una struttura semplice, un basso costo e un utilizzo affidabile. Può essere impiegato per la deposizione per evaporazione di materiali con basso punto di fusione, soprattutto nella produzione di massa con requisiti di qualità del rivestimento non stringenti. Ad oggi, numerosi processi di rivestimento basati sul riscaldamento e sull'evaporazione tramite resistenza elettrica sono ancora utilizzati nella produzione di specchi alluminizzati.
Gli svantaggi del metodo di rivestimento per evaporazione a resistenza sono la limitata temperatura massima raggiungibile tramite riscaldamento e la breve durata del riscaldatore. Negli ultimi anni, al fine di prolungare la durata delle sorgenti di evaporazione a resistenza, le aziende produttrici di apparecchiature hanno adottato come sorgente di evaporazione un materiale ceramico conduttivo a base di nitruro di boro, caratterizzato da una lunga durata. Secondo un brevetto giapponese, è possibile utilizzare materiali composti per il 20%~30% da nitruro di boro e materiali refrattari fusi con esso per realizzare la sorgente di evaporazione (crogiolo), rivestendone la superficie con uno strato di zirconio contenente per il 62%~82%, mentre la restante parte è costituita da una lega di zirconio-silicio.
Data di pubblicazione: 22 aprile 2023