Каршылык көрсөтүүчү буулануу булагын каптоо - бул вакуумдук буулануу менен каптоонун негизги ыкмасы. "Буулануу" деген сөз вакуумдук камерадагы каптоо материалы ысытылып, буулануучу жука пленка даярдоо ыкмасын билдирет, ошентип материалдын атомдору же молекулалары бууланып, беттен чыгып, буу агымынын кубулушун пайда кылып, субстраттын же субстраттын бетине түшүп, акырында конденсацияланып катуу пленка пайда болот.
Каршылык көрсөтүүчү буулануу булагын каптоо ыкмасы деп аталган ыкма тантал, молибден, вольфрам жана башка жогорку эрүү температурасы бар металлдарды колдонуп, буулануу булагынын тиешелүү формасын жасоону камтыйт, ага буулануучу материалдар жүктөлөт, абанын өтүшүнө жол берилет, бууланган материалдарды түздөн-түз ысытат жана буулантат же буулануучу материалдарды кыйыр түрдө ысытуу жана буулантуу үчүн глиноземге, бериллий кычкылына жана башка тигельдерге салат. Бул каршылык көрсөтүүчү ысытуу буулануу ыкмасы.
Theвакуумдук буулантуу менен каптоочу машинаКаршылык көрсөтүүчү жылыткыч менен ысытылып жана бууландырылган материалдын түзүлүшү жөнөкөй, баасы арзан жана ишенимдүү колдонуу артыкчылыктары бар. Аны эрүү температурасы төмөн материалдарды буулануу менен каптоо үчүн, айрыкча каптоонун сапатына төмөн талаптар коюлган массалык өндүрүш үчүн колдонсо болот. Азырынча алюминий күзгүлөрдү өндүрүүдө каршылык көрсөтүүчү ысытуу жана буулануу менен каптоо процесстери көп колдонулат.
Каршылык көрсөтүүчү буулануу булагын буулантуу менен каптоо ыкмасынын кемчиликтери - жылытуу менен жетишүүгө мүмкүн болгон максималдуу температура чектелүү жана жылыткычтын иштөө мөөнөтү да кыска. Акыркы жылдары каршылык көрсөтүүчү буулануу булагынын иштөө мөөнөтүн жакшыртуу үчүн жабдуулар заводу буулануу булагы катары бор нитриди менен синтезделген узак мөөнөттүү өткөргүч керамикалык материалды кабыл алды. Жапон патенттик отчетуна ылайык, ал буулануу булагын (тигель) жасоо үчүн 20% ~ 30% бор нитридинен жана аны менен эритүүгө боло турган отко чыдамдуу материалдарды колдоно алат жана анын бетин 62% ~ 82% камтыган цирконий катмары менен каптай алат, ал эми калгандары цирконий-кремний эритмесинин материалдары.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 22-апрели