Sekoahelo sa mohlodi wa mouoane wa kganyetso ke eng?

Ho koahela mohloli oa mouoane oa khanyetso ke mokhoa oa motheo oa ho koahela mouoane oa vacuum. "Mouoane" o bolela mokhoa o mosesaane oa ho lokisa filimi moo thepa ea ho koahela ka kamoreng ea vacuum e futhumatsoang le ho fetoloa mouoane, e le hore liathomo kapa limolek'hule tsa thepa li fetohe mouoane 'me li tsoe holim'a metsi, li etse ketsahalo ea phallo ea mouoane, ketsahalo holim'a substrate kapa substrate, 'me qetellong li kobeha ho etsa filimi e tiileng.

Mokhoa o bitsoang oa ho roala mohlodi oa mouoane oa khanyetso ke ho sebelisa tantalum, molybdenum, tungsten le litšepe tse ling tse nang le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha ho etsa sebopeho se loketseng sa mohlodi oa mouoane, o tletseng thepa e lokelang ho fetoloa mouoane, ho lumella moea ho phalla, ho futhumatsa le ho fetola mouoane ka ho toba thepa e fetotsoeng mouoane, kapa ho beha thepa e lokelang ho fetoloa mouoane ho ba alumina, beryllium oxide le li-crucible tse ling bakeng sa ho futhumatsa le ho fetola mouoane ka tsela e sa tobang. Ena ke mokhoa oa ho fetola mouoane oa khanyetso oa ho futhumatsa.

Themochini o koahelang ka lephaka mouoaneSefuthumatsi se futhumatsoang le ho fetoha mouoane ke sefuthumatsi se hanyetsang se na le melemo ea sebopeho se bonolo, litšenyehelo tse tlase le ts'ebeliso e tšepahalang. Se ka sebelisoa bakeng sa ho koahela thepa ka mouoane ka ntlha e tlase ea ho qhibiliha, haholo-holo bakeng sa tlhahiso ea bongata ka litlhoko tse tlase tsa boleng ba ho koahela. Ho fihlela joale, ho ntse ho e-na le palo e kholo ea lits'ebetso tsa ho koahela tsa ho futhumatsa le ho fetoha mouoane tse sebelisoang tlhahisong ea liipone tse nang le aluminized.

Mathata a mokhoa oa ho roala mouoane oa mohloli oa mouoane oa khanyetso ke hore mocheso o phahameng ka ho fetisisa o ka fihlellehang ka ho futhumatsa o lekanyelitsoe, 'me bophelo ba tšebeletso ea hitara le bona bo bokhutšoanyane. Lilemong tsa morao tjena, e le ho ntlafatsa bophelo ba mohloli oa mouoane oa khanyetso, fektheri ea lisebelisoa e sebelisitse thepa ea ceramic e tsamaisang motlakase e entsoeng ke boron nitride ka bophelo bo bolelele e le mohloli oa mouoane. Ho ea ka tlaleho ea patent ea Japane, e ka sebelisa thepa e entsoeng ka 20% ~ 30% boron nitride le thepa e hanyetsang e ka kopanngoang le eona ho etsa mohloli oa mouoane (o ka chesoang), le ho koahela bokaholimo ba eona ka lera la zirconium le nang le 62% ~ 82%, 'me tse ling kaofela ke thepa ea alloy ea zirconium-silicon.