रेझिस्टन्स इव्हॅपोरेशन सोर्स कोटिंग ही एक मूलभूत व्हॅक्यूम इव्हॅपोरेशन कोटिंग पद्धत आहे. “इव्हॅपोरेशन” म्हणजे पातळ थर तयार करण्याची एक पद्धत, ज्यामध्ये व्हॅक्यूम चेंबरमधील कोटिंग मटेरियल गरम करून त्याचे बाष्पीभवन केले जाते. यामुळे मटेरियलचे अणू किंवा रेणू वाफ होऊन पृष्ठभागावरून बाहेर पडतात, ज्यामुळे वाफेच्या प्रवाहाची घटना घडते. ही वाफ सब्सट्रेट किंवा आधारस्तराच्या पृष्ठभागावर आदळते आणि शेवटी घनीभूत होऊन एक घन थर तयार होतो.
तथाकथित प्रतिरोध बाष्पीभवन स्रोत लेपन पद्धतीमध्ये, टँटॅलम, मॉलिब्डेनम, टंगस्टन आणि इतर उच्च वितळणबिंदू असलेल्या धातूंचा वापर करून योग्य आकाराचा बाष्पीभवन स्रोत बनवला जातो, ज्यामध्ये बाष्पीभवन करावयाचे पदार्थ भरले जातात, त्यातून हवा प्रवाहित होऊ दिली जाते, आणि बाष्पीभवन करावयाच्या पदार्थांना थेट उष्णता देऊन त्यांचे बाष्पीभवन केले जाते, किंवा अप्रत्यक्ष उष्णता देऊन बाष्पीभवन करण्यासाठी बाष्पीभवन करावयाचे पदार्थ ॲल्युमिना, बेरिलियम ऑक्साईड आणि इतर मुशींमध्ये ठेवले जातात. ही प्रतिरोध उष्णता बाष्पीभवन पद्धत आहे.
व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग मशीनरेझिस्टन्स हीटरद्वारे उष्णता देऊन बाष्पीभवन करण्याच्या पद्धतीचे फायदे म्हणजे साधी रचना, कमी खर्च आणि विश्वसनीय वापर. याचा उपयोग कमी वितळणबिंदू असलेल्या पदार्थांच्या बाष्पीभवन लेपनासाठी केला जाऊ शकतो, विशेषतः अशा मोठ्या प्रमाणावरील उत्पादनासाठी जिथे लेपनाच्या गुणवत्तेसाठी कमी आवश्यकता असते. आजपर्यंत, ॲल्युमिनाइज्ड आरशांच्या उत्पादनात रेझिस्टन्स हीटिंग आणि बाष्पीभवनाच्या अनेक लेपन प्रक्रिया अजूनही वापरात आहेत.
रेझिस्टन्स इव्हॅपोरेशन सोर्स इव्हॅपोरेशन कोटिंग पद्धतीचे तोटे असे आहेत की, तापवून गाठता येणारे कमाल तापमान मर्यादित असते आणि हीटरचे सेवा आयुष्यही कमी असते. अलिकडच्या वर्षांत, रेझिस्टन्स इव्हॅपोरेशन सोर्सचे आयुष्य वाढवण्यासाठी, उपकरण कारखान्यांनी इव्हॅपोरेशन सोर्स म्हणून दीर्घायुषी बोरॉन नायट्राइडपासून संश्लेषित केलेल्या प्रवाहकीय सिरॅमिक पदार्थाचा वापर सुरू केला आहे. एका जपानी पेटंट अहवालानुसार, इव्हॅपोरेशन सोर्स (क्रुसिबल) बनवण्यासाठी २०%~३०% बोरॉन नायट्राइड आणि त्याच्यासोबत वितळवता येणाऱ्या रिफ्रॅक्टरी पदार्थांपासून बनवलेल्या सामग्रीचा वापर केला जाऊ शकतो, आणि त्याच्या पृष्ठभागावर ६२%~८२% झिरकोनियमचा थर दिला जातो, तर उर्वरित भाग झिरकोनियम-सिलिकॉन मिश्रधातूच्या सामग्रीचा असतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: २२ एप्रिल २०२३