Naon anu dimaksud palapis sumber penguapan résistansi?

Palapis sumber penguapan résistansi mangrupikeun metode palapis penguapan vakum dasar. "Evaporasi" nujul kana metode persiapan pilem ipis dimana bahan palapis dina ruang vakum dipanaskeun sareng diuapkeun, supados atom atanapi molekul bahan nguap sareng kaluar tina permukaan, ngabentuk fenomena aliran uap, kajadian dina permukaan substrat atanapi substrat, sareng pamustunganana kondensasi pikeun ngabentuk pilem padet.

Anu disebut métode palapis sumber penguapan résistansi nyaéta ku cara ngagunakeun tantalum, molibdenum, tungsten sareng logam titik lebur anu luhur pikeun ngadamel bentuk sumber penguapan anu pas, anu dieusi ku bahan anu badé diuapkeun, ngantepkeun hawa ngalir, langsung manaskeun sareng nguapkeun bahan anu diuapkeun, atanapi nempatkeun bahan anu badé diuapkeun kana alumina, bérilium oksida sareng wadah sanésna pikeun pemanasan sareng penguapan henteu langsung. Ieu mangrupikeun métode penguapan pemanasan résistansi.

Themesin palapis penguapan vakumDipanaskeun sareng diuapkeun ku pemanas résistansi ngagaduhan kaunggulan struktur anu saderhana, biaya murah sareng panggunaan anu tiasa dipercaya. Éta tiasa dianggo pikeun palapis penguapan bahan kalayan titik lebur anu handap, khususna pikeun produksi massal kalayan sarat kualitas palapis anu handap. Dugi ka ayeuna, masih seueur prosés palapis pemanasan résistansi sareng penguapan anu dianggo dina produksi eunteung aluminium.

Kakurangan tina metode palapis penguapan sumber penguapan résistansi nyaéta suhu maksimum anu tiasa kahontal ku pemanasan terbatas, sareng umur jasa pemanas ogé pondok. Dina sababaraha taun ka pengker, pikeun ningkatkeun umur sumber penguapan résistansi, pabrik peralatan parantos ngadopsi bahan keramik konduktif anu disintésis ku boron nitrida kalayan umur anu panjang salaku sumber penguapan. Numutkeun laporan patén Jepang, éta tiasa nganggo bahan anu diwangun ku 20% ~ 30% boron nitrida sareng bahan refraktori anu tiasa ngahiji sareng éta pikeun ngadamel sumber penguapan (wadah), sareng ngalapis permukaanna ku lapisan zirkonium anu ngandung 62% ~ 82%, sareng sésana mangrupikeun bahan paduan zirkonium-silikon.