Pelapisan sumber penguapan resistensi minangka metode pelapisan penguapan vakum dhasar. "Penguapan" nuduhake metode persiapan film tipis ing ngendi bahan pelapisan ing ruang vakum dipanasake lan diuap, saengga atom utawa molekul bahan nguap lan metu saka permukaan, mbentuk fenomena aliran uap, kedadeyan ing permukaan substrat utawa substrat, lan pungkasane kondensasi kanggo mbentuk film padat.
Cara sing diarani metode pelapisan sumber penguapan resistensi yaiku nggunakake tantalum, molibdenum, tungsten, lan logam titik leleh dhuwur liyane kanggo nggawe bentuk sumber penguapan sing cocog, sing diisi bahan sing bakal diuapke, supaya udara mili, langsung manasi lan nguapke bahan sing wis diuapke, utawa dilebokake bahan sing bakal diuapke ing alumina, berilium oksida, lan wadah liyane kanggo pemanasan lan penguapan ora langsung. Iki minangka metode penguapan pemanasan resistensi.
Ingmesin lapisan penguapan vakumDipanasake lan diuapke nganggo pemanas resistensi nduweni kaluwihan struktur sing prasaja, biaya murah, lan panggunaan sing bisa dipercaya. Bisa digunakake kanggo lapisan penguapan bahan kanthi titik leleh sing endhek, utamane kanggo produksi massal kanthi syarat kualitas lapisan sing endhek. Nganti saiki, isih ana akeh proses lapisan pemanasan lan penguapan resistensi sing digunakake ing produksi pangilon aluminium.
Kekurangane metode pelapisan penguapan sumber penguapan resistensi yaiku suhu maksimal sing bisa digayuh kanthi pemanasan winates, lan umur layanan pemanas uga cendhak. Ing taun-taun pungkasan, kanggo nambah umur sumber penguapan resistensi, pabrik peralatan wis nggunakake bahan keramik konduktif sing disintesis dening boron nitrida kanthi umur dawa minangka sumber penguapan. Miturut laporan paten Jepang, bisa nggunakake bahan sing kasusun saka 20% ~ 30% boron nitrida lan bahan refraktori sing bisa digabungake karo bahan kasebut kanggo nggawe sumber penguapan (wadhah), lan nutupi permukaane nganggo lapisan zirkonium sing ngemot 62% ~ 82%, lan liyane minangka bahan paduan zirkonium-silikon.
Wektu kiriman: 22-Apr-2023