Ano ang resistance evaporation source coating?

Ang resistance evaporation source coating ay isang pangunahing paraan ng vacuum evaporation coating. Ang "Evaporation" ay tumutukoy sa isang paraan ng paghahanda ng manipis na pelikula kung saan ang materyal na patong sa vacuum chamber ay pinainit at sinisingaw, upang ang mga atomo o molekula ng materyal ay singaw at makatakas mula sa ibabaw, na bumubuo ng isang penomeno ng daloy ng singaw, na pumapasok sa ibabaw ng substrate o substrate, at sa huli ay namuo upang bumuo ng isang solidong pelikula.

Ang tinatawag na paraan ng patong gamit ang resistance evaporation source ay ang paggamit ng tantalum, molybdenum, tungsten at iba pang mga metal na may mataas na melting point upang makagawa ng angkop na hugis ng pinagmumulan ng evaporation, na nilalagyan ng mga materyales na ie-evaporate, hayaang dumaloy ang hangin, direktang initin at i-evaporate ang mga ie-evaporate na materyales, o ilagay ang mga materyales na ie-evaporate sa alumina, beryllium oxide at iba pang mga crucible para sa hindi direktang pag-init at pagsingaw. Ito ang paraan ng pagsingaw gamit ang resistance heating.

Angmakinang patong ng ebaporasyon na vacuumAng pagpapainit at pagpapasingaw gamit ang resistance heater ay may mga bentahe ng simpleng istraktura, mababang gastos, at maaasahang paggamit. Maaari itong gamitin para sa evaporation coating ng mga materyales na may mababang melting point, lalo na para sa malawakang produksyon na may mababang kinakailangan para sa kalidad ng patong. Sa ngayon, marami pa ring proseso ng patong ng resistance heating at evaporation na ginagamit sa paggawa ng mga aluminized mirror.

Ang mga disbentaha ng paraan ng patong ng ebaporasyon gamit ang resistance evaporation source ay limitado ang pinakamataas na temperaturang maaaring maabot sa pamamagitan ng pag-init, at maikli rin ang buhay ng heater. Sa mga nakaraang taon, upang mapabuti ang buhay ng resistance evaporation source, ginamit ng pabrika ng kagamitan ang conductive ceramic material na gawa sa boron nitride na may mahabang buhay bilang pinagmumulan ng ebaporasyon. Ayon sa isang ulat ng patente sa Hapon, maaari itong gumamit ng mga materyales na binubuo ng 20%~30% boron nitride at mga materyales na refractory na maaaring pagsamahin dito upang gawin ang pinagmumulan ng ebaporasyon (crucible), at pahiran ang ibabaw nito ng isang layer ng zirconium na naglalaman ng 62%~82%, at ang natitira ay mga materyales na zirconium-silicon alloy.