Apakah salutan sumber penyejatan rintangan?

Salutan sumber penyejatan rintangan ialah kaedah salutan penyejatan vakum asas. "Penyejatan" merujuk kepada kaedah penyediaan filem nipis di mana bahan salutan dalam ruang vakum dipanaskan dan disejat, supaya atom atau molekul bahan mengewap dan terlepas dari permukaan, membentuk fenomena aliran wap, berlaku pada permukaan substrat atau substrat, dan akhirnya terkondensasi untuk membentuk filem pepejal.

Kaedah salutan sumber penyejatan rintangan yang dipanggil adalah dengan menggunakan tantalum, molibdenum, tungsten dan logam takat lebur tinggi yang lain untuk membuat bentuk sumber penyejatan yang sesuai, yang dimuatkan dengan bahan yang akan disejat, biarkan udara mengalir melaluinya, panaskan dan sejatkan bahan yang tersejat secara langsung, atau masukkan bahan yang akan disejat ke dalam alumina, berilium oksida dan mangkuk pijar lain untuk pemanasan dan penyejatan tidak langsung. Ini adalah kaedah penyejatan pemanasan rintangan.

Yangmesin salutan penyejatan vakumPemanas rintangan yang dipanaskan dan disejat mempunyai kelebihan struktur mudah, kos rendah dan penggunaan yang boleh dipercayai. Ia boleh digunakan untuk salutan penyejatan bahan dengan takat lebur yang rendah, terutamanya untuk pengeluaran besar-besaran dengan keperluan kualiti salutan yang rendah. Setakat ini, masih terdapat sebilangan besar proses salutan pemanasan rintangan dan penyejatan yang digunakan dalam pengeluaran cermin beraluminium.

Kelemahan kaedah salutan penyejatan sumber penyejatan rintangan adalah suhu maksimum yang boleh dicapai melalui pemanasan adalah terhad, dan jangka hayat pemanas juga pendek. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, untuk meningkatkan jangka hayat sumber penyejatan rintangan, kilang peralatan telah menerima pakai bahan seramik konduktif yang disintesis oleh boron nitrida dengan jangka hayat yang panjang sebagai sumber penyejatan. Menurut laporan paten Jepun, ia boleh menggunakan bahan yang terdiri daripada 20% ~ 30% boron nitrida dan bahan refraktori yang boleh digabungkan dengannya untuk membuat sumber penyejatan (pijar), dan menyalut permukaannya dengan lapisan zirkonium yang mengandungi 62% ~ 82%, dan selebihnya adalah bahan aloi zirkonium-silikon.