प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत कोटिंग एक आधारभूत भ्याकुम वाष्पीकरण कोटिंग विधि हो।"वाष्पीकरण" भन्नाले पातलो फिलिम तयारी विधिलाई बुझाउँछ जसमा भ्याकुम चेम्बरमा रहेको कोटिंग सामग्रीलाई तताएर वाष्पीकरण गरिन्छ, जसले गर्दा सामग्रीको परमाणु वा अणुहरू वाष्प बन्छन् र सतहबाट भाग्छन्, वाष्प प्रवाहको घटना बनाउँछन्, वाष्प प्रवाहको घटना बनाउँछन्। सब्सट्रेट वा सब्सट्रेट, र अन्तमा ठोस फिल्म बनाउनको लागि गाढा।
तथाकथित प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत कोटिंग विधि भनेको वाष्पीकरण स्रोतको उपयुक्त आकार बनाउन ट्यान्टालम, मोलिब्डेनम, टंगस्टन र अन्य उच्च पग्लने बिन्दु धातुहरू प्रयोग गर्नु हो, जुन वाष्पीकरण गर्न सामग्रीले भरिएको हुन्छ, हावालाई प्रवाह गर्न दिनुहोस्, सीधा ताप र वाष्पीकरण गरिएका सामग्रीहरूलाई वाष्पीकरण गर्नुहोस्, वा अप्रत्यक्ष ताप र वाष्पीकरणको लागि एल्युमिना, बेरिलियम अक्साइड र अन्य क्रुसिबलहरूमा वाष्पीकरण गर्न सामग्रीहरू राख्नुहोस्।यो प्रतिरोधी ताप वाष्पीकरण विधि हो।
दभ्याकुम वाष्पीकरण कोटिंग मेसिनतातो र प्रतिरोधी हीटर द्वारा वाष्पीकरण सरल संरचना, कम लागत र भरपर्दो प्रयोग को फाइदा छ।यो कम पिघलने बिन्दु संग सामग्री को वाष्पीकरण कोटिंग को लागी प्रयोग गर्न सकिन्छ, विशेष गरी कोटिंग गुणस्तर को लागी कम आवश्यकताहरु संग ठूलो उत्पादन को लागी।अहिलेसम्म, त्यहाँ अझै ठूलो संख्यामा प्रतिरोधी ताप र वाष्पीकरणको कोटिंग प्रक्रियाहरू छन् जुन एल्युमिनाइज्ड मिररहरूको उत्पादनमा प्रयोग गरिन्छ।
प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत वाष्पीकरण कोटिंग विधिको बेफाइदाहरू यो हो कि तापद्वारा पुग्न सकिने अधिकतम तापक्रम सीमित छ, र हीटरको सेवा जीवन पनि छोटो छ।हालका वर्षहरूमा, प्रतिरोधी वाष्पीकरण स्रोतको जीवन सुधार गर्न, उपकरण कारखानाले बाष्पीकरण स्रोतको रूपमा लामो जीवन बोरोन नाइट्राइडद्वारा संश्लेषित प्रवाहकीय सिरेमिक सामग्री अपनाएको छ।जापानी पेटेन्ट रिपोर्टका अनुसार, यसले 20% ~ 30% बोरोन नाइट्राइड र दुर्दम्य सामग्रीहरू प्रयोग गर्न सक्छ जुन यसलाई वाष्पीकरणको स्रोत (क्रूसिबल) बनाउन र यसको सतहमा 62% भएको जिरकोनियमको तहले कोट गर्न सकिन्छ। ~ 82%, र बाँकी zirconium-सिलिकन मिश्र धातु सामग्री हो।
पोस्ट समय: अप्रिल-22-2023