O que é revestimento de fonte de evaporação de resistência?

O revestimento de fonte de evaporação de resistência é um método básico de revestimento de evaporação a vácuo.“Evaporação” refere-se a um método de preparação de filme fino no qual o material de revestimento na câmara de vácuo é aquecido e evaporado, de modo que os átomos ou moléculas do material vaporizem e escapem da superfície, formando um fenômeno de fluxo de vapor, incidente na superfície do substrato ou substrato, e finalmente condensado para formar um filme sólido.

O chamado método de revestimento de fonte de evaporação de resistência é usar tântalo, molibdênio, tungstênio e outros metais de alto ponto de fusão para fazer uma forma apropriada de fonte de evaporação, que é carregada com materiais a serem evaporados, deixe o ar fluir, aqueça diretamente e evaporar os materiais evaporados ou colocar os materiais a serem evaporados em alumina, óxido de berílio e outros cadinhos para aquecimento indireto e evaporação.Este é o método de evaporação por aquecimento por resistência.

Omáquina de revestimento por evaporação a vácuoaquecido e evaporado pelo aquecedor de resistência tem as vantagens de estrutura simples, baixo custo e uso confiável.Pode ser usado para revestimento por evaporação de materiais com baixo ponto de fusão, especialmente para produção em massa com baixos requisitos de qualidade do revestimento.Até agora, ainda existe um grande número de processos de revestimento de aquecimento por resistência e evaporação utilizados na produção de espelhos aluminizados.

As desvantagens do método de revestimento por evaporação da fonte de evaporação por resistência são que a temperatura máxima que pode ser alcançada pelo aquecimento é limitada e a vida útil do aquecedor também é curta.Nos últimos anos, a fim de melhorar a vida útil da fonte de evaporação de resistência, a fábrica de equipamentos adotou o material cerâmico condutor sintetizado por nitreto de boro com longa vida útil como fonte de evaporação.De acordo com um relatório de patente japonesa, ele pode usar materiais compostos de 20% ~ 30% de nitreto de boro e materiais refratários que podem ser fundidos com ele para fazer a fonte de evaporação (cadinho) e revestir sua superfície com uma camada de zircônio contendo 62% ~82%, e o restante são materiais de liga de zircônio-silício.