O que é revestimento por fonte de evaporação resistiva?

A deposição por evaporação resistiva é um método básico de revestimento por evaporação a vácuo. "Evaporação" refere-se a um método de preparação de filme fino no qual o material de revestimento é aquecido e evaporado em uma câmara de vácuo, de modo que os átomos ou moléculas do material vaporizam e escapam da superfície, formando um fluxo de vapor que incide sobre a superfície do substrato e, finalmente, condensa-se para formar um filme sólido.

O método de revestimento por fonte de evaporação por resistência utiliza metais de alto ponto de fusão, como tântalo, molibdênio, tungstênio, para criar uma fonte de evaporação com formato adequado. Essa fonte é então carregada com o material a ser evaporado, permitindo a circulação de ar que aquece e evapora o material diretamente. Alternativamente, o material a ser evaporado pode ser colocado em cadinhos de alumina, óxido de berílio, entre outros, para aquecimento e evaporação indiretos. Este é o método de evaporação por aquecimento por resistência.

Omáquina de revestimento por evaporação a vácuoO processo de aquecimento e evaporação por resistência elétrica apresenta vantagens como estrutura simples, baixo custo e uso confiável. Pode ser utilizado para revestimento por evaporação de materiais com baixo ponto de fusão, especialmente em produções em massa com baixas exigências de qualidade do revestimento. Atualmente, um grande número de processos de revestimento por aquecimento e evaporação por resistência elétrica ainda é utilizado na produção de espelhos aluminizados.

As desvantagens do método de revestimento por evaporação com fonte resistiva são a limitação da temperatura máxima atingida pelo aquecimento e a curta vida útil do aquecedor. Nos últimos anos, visando aumentar a vida útil da fonte de evaporação resistiva, as fábricas de equipamentos têm adotado o material cerâmico condutor sintetizado a partir de nitreto de boro, que possui longa vida útil, como fonte de evaporação. De acordo com uma patente japonesa, é possível utilizar materiais compostos por 20% a 30% de nitreto de boro e materiais refratários fundidos para fabricar a fonte de evaporação (cadinho), revestindo sua superfície com uma camada de zircônio contendo 62% a 82%, sendo o restante composto por liga de zircônio-silício.