Müqavimət buxarlanma mənbəyi örtüyü nədir?

Müqavimət buxarlanma mənbəyi örtüyü əsas vakuum buxarlanma örtük üsuludur. "Buxarlanma" vakuum kamerasındakı örtük materialının qızdırıldığı və buxarlandığı, beləliklə material atomlarının və ya molekullarının buxarlandığı və səthdən qaçdığı, buxar axını fenomeni əmələ gətirdiyi, substratın və ya substratın səthinə düşdüyü və nəhayət, bərk bir təbəqə əmələ gətirmək üçün kondensasiya olunduğu nazik bir təbəqə hazırlama üsuluna aiddir.

Müqavimət buxarlanma mənbəyi örtük üsulu adlanan üsul, buxarlanma mənbəyinin müvafiq formasını yaratmaq üçün tantal, molibden, volfram və digər yüksək ərimə nöqtəli metallardan istifadə etməkdir. Bu forma buxarlanma mənbəyinə materiallar yüklənir, havanın axmasına imkan verir, buxarlanan materialları birbaşa qızdırır və buxarlandırır və ya buxarlanacaq materialları dolayı yolla qızdırmaq və buxarlandırmaq üçün alüminium oksidinə, berilyum oksidinə və digər çuxurlara qoyur. Bu, müqavimətli qızdırma buxarlanma üsuludur.

Thevakuum buxarlanma örtük maşınıMüqavimət qızdırıcısı ilə qızdırılıb buxarlandırılan material sadə quruluş, aşağı qiymət və etibarlı istifadə üstünlüklərinə malikdir. Xüsusilə örtük keyfiyyətinə aşağı tələblər qoyan kütləvi istehsal üçün aşağı ərimə nöqtəsinə malik materialların buxarlanma örtüyü üçün istifadə edilə bilər. İndiyə qədər alüminium güzgülərin istehsalında hələ də çox sayda müqavimətli qızdırma və buxarlanma örtük prosesləri tətbiq olunur.

Müqavimət buxarlanma mənbəyinin buxarlanma örtük metodunun çatışmazlıqları, qızdırma ilə əldə edilə bilən maksimum temperaturun məhdud olması və qızdırıcının xidmət müddətinin də qısa olmasıdır. Son illərdə müqavimət buxarlanma mənbəyinin ömrünü yaxşılaşdırmaq üçün avadanlıq fabriki uzun ömürlü bor nitridi ilə sintez edilmiş keçirici keramika materialını buxarlanma mənbəyi kimi qəbul etmişdir. Yaponiya patent hesabatına görə, buxarlanma mənbəyini (çuxur) hazırlamaq üçün 20% ~ 30% bor nitridi və onunla əridilə bilən odadavamlı materiallardan istifadə edə və səthini 62% ~ 82% olan sirkonium təbəqəsi ilə örtmək olar, qalanları isə sirkonium-silikon ərintisi materiallarıdır.