Chii chinonzi resistance evaporation source coating?

Kuvhara kwemvura kubva pakupomba inzira yekutanga yekuputira mvura kubva muvacuum. "Kuputika kwemvura" zvinoreva nzira yekugadzirira firimu rakatetepa umo zvinhu zvekuputira zviri muvacuum chamber zvinopiswa uye zvinopwanyika, kuitira kuti maatomu kana mamorekuru ezvinhu apwanyike uye abude kubva pamusoro, zvichiita chiitiko chekuyerera kwemhepo, chiitiko pamusoro pe substrate kana substrate, uye pakupedzisira chakabatana kuti chigadzire firimu rakasimba.

Nzira inonzi resistance evaporation source coating ndeyekushandisa tantalum, molybdenum, tungsten nedzimwe simbi dzine nzvimbo yekunyunguduka yakawanda kuti dzigadzire chimiro chakakodzera che evaporation source, iyo yakazara nezvinhu zvinofanirwa kupiswa, kuregedza mhepo ichipfuura nepakati, kupisa zvakananga uye kupwanya zvinhu zvakapwanyika, kana kuisa zvinhu zvinofanirwa kupwanyika kuita alumina, beryllium oxide nezvimwe zvinopisa zvisina kunanga uye kupwanya. Iyi ndiyo nzira ye resistance heating evaporation.

Iyomuchina wekubvisa mvura kubva muchina wekudziviriraChidziyo chinodziya uye chinopwanyika ne resistance heater chine zvakanakira zvechimiro chiri nyore, mutengo wakaderera uye kushandiswa kwakavimbika. Chinogona kushandiswa pakuputira zvinhu zvine evaporation point yakaderera yekunyunguduka, kunyanya pakugadzira zvakawanda zvine zvinodiwa zvishoma zvemhando yepamusoro yekuputira. Kusvika pari zvino, kuchine nzira dzakawanda dzekuputira dzinoshandiswa mukugadzira magirazi ane aluminized.

Zvakaipa zvekushandisa nzira yekudzivirira kupisa kubva kusimba rekudzivirira kupisa ndekuti tembiricha yepamusoro inogona kusvikwa nekupisa yakaganhurirwa, uye hupenyu hwemuchina wekupisa hupfupiwo. Mumakore achangopfuura, kuti ivandudze hupenyu hwemuchina wekudzivirira kupisa kubva kusimba rekudzivirira kupisa, fekitori yemidziyo yakashandisa zvinhu zveceramic zvakagadzirwa ne boron nitride zvine hupenyu hurefu semuchina wekubvisa kupisa. Sekureva kwemushumo wepatent wekuJapan, inogona kushandisa zvinhu zvine 20% ~ 30% boron nitride nezvinhu zvinodzivirira zvinogona kusanganiswa nazvo kuti zvigadzire muchina wekubvisa kupisa kubva kusimba remhepo (zvinobvira pamoto), uye kufukidza pamusoro payo nechikamu che zirconium chine 62% ~ 82%, uye zvimwe zvinhu zve zirconium-silicon alloy.