Кедергілік булану көзінің жабыны - вакуумдық булану жабынының негізгі әдісі. «Булану» дегеніміз - вакуумдық камерадағы жабын материалы қыздырылып, буландырылатын жұқа қабықша дайындау әдісі, осылайша материал атомдары немесе молекулалары буланып, бетінен шығып, бу ағыны құбылысын қалыптастырады, субстраттың немесе субстраттың бетіне түседі және соңында конденсацияланып қатты қабықша түзеді.
Кедергілік булану көзінің жабын әдісі деп аталатын әдіс - тантал, молибден, вольфрам және басқа да жоғары балқу температурасы бар металдарды пайдаланып, булану көзінің тиісті пішінін жасау, оған булануға арналған материалдар жүктеледі, ауа ағынын өткізеді, буланатын материалдарды тікелей қыздырады және буландырады немесе буланатын материалдарды жанама қыздыру және буландыру үшін алюминий оксидіне, бериллий оксидіне және басқа тигельдерге салады. Бұл кедергілік қыздыру булану әдісі.
Theвакуумды булану жабын машинасыКедергі қыздырғышымен қыздырылып, буландырылған кезде құрылымы қарапайым, бағасы төмен және сенімді пайдалану артықшылықтары бар. Оны балқу температурасы төмен материалдарды буланумен жабу үшін, әсіресе жабын сапасына қойылатын талаптары төмен жаппай өндіріс үшін пайдалануға болады. Қазіргі уақытта алюминийленген айна өндірісінде кедергімен қыздыру және булану арқылы жабудың көптеген процестері қолданылады.
Кедергі булану көзінің булану жабыны әдісінің кемшіліктері - қыздыру арқылы қол жеткізуге болатын максималды температура шектеулі және жылытқыштың қызмет ету мерзімі де қысқа. Соңғы жылдары кедергі булану көзінің қызмет ету мерзімін жақсарту үшін жабдық зауыты ұзақ қызмет ету мерзімі бар бор нитридімен синтезделген өткізгіш керамикалық материалды булану көзі ретінде қабылдады. Жапон патенттік есебіне сәйкес, ол булану көзін (тигель) жасау үшін 20% ~ 30% бор нитриді мен онымен балқытуға болатын отқа төзімді материалдарды пайдалана алады және оның бетін 62% ~ 82% цирконий қабатымен жабады, ал қалғандары цирконий-кремний қорытпасы материалдары болып табылады.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 22 сәуір