Dirençli buharlaştırma kaynaklı kaplama, temel bir vakumlu buharlaştırma kaplama yöntemidir. "Buharlaştırma", vakum odasında kaplama malzemesinin ısıtılıp buharlaştırılmasıyla ince film hazırlama yöntemini ifade eder; bu işlemde malzeme atomları veya molekülleri buharlaşarak yüzeyden uzaklaşır, bir buhar akışı olayı oluşturur, alt tabakanın veya altlığın yüzeyine çarpar ve sonunda yoğunlaşarak katı bir film oluşturur.
"Dirençli buharlaştırma kaynağı kaplama yöntemi" olarak adlandırılan yöntemde, tantal, molibden, tungsten ve diğer yüksek erime noktalı metallerden uygun şekilde bir buharlaştırma kaynağı yapılır; bu kaynağa buharlaştırılacak malzemeler yüklenir, hava akışı sağlanır, malzemeler doğrudan ısıtılıp buharlaştırılır veya buharlaştırılacak malzemeler alümina, berilyum oksit ve diğer potalara konularak dolaylı ısıtma ve buharlaştırma yöntemiyle buharlaştırılır. Bu, dirençli ısıtma buharlaştırma yöntemidir.
Ovakumlu buharlaştırma kaplama makinesiDirençli ısıtıcı ile ısıtılıp buharlaştırılan kaplama yöntemi, basit yapısı, düşük maliyeti ve güvenilir kullanımıyla öne çıkar. Özellikle kaplama kalitesi konusunda düşük gereksinimlere sahip seri üretimde, düşük erime noktasına sahip malzemelerin buharlaştırma kaplaması için kullanılabilir. Bugüne kadar, alüminyum kaplı aynaların üretiminde hala çok sayıda dirençli ısıtma ve buharlaştırma kaplama işlemi kullanılmaktadır.
Dirençli buharlaştırma kaynağı buharlaştırma kaplama yönteminin dezavantajları, ısıtma ile ulaşılabilecek maksimum sıcaklığın sınırlı olması ve ısıtıcının kullanım ömrünün de kısa olmasıdır. Son yıllarda, dirençli buharlaştırma kaynağının ömrünü uzatmak amacıyla, ekipman fabrikaları uzun ömürlü bor nitrürden sentezlenen iletken seramik malzemeyi buharlaştırma kaynağı olarak kullanmaya başlamıştır. Bir Japon patent raporuna göre, %20~%30 bor nitrür ve onunla eritilebilen refrakter malzemelerden oluşan buharlaştırma kaynağı (pota) yapılabilir ve yüzeyi %62~%82 oranında zirkonyum içeren bir tabaka ile kaplanabilir; geri kalan kısım ise zirkonyum-silikon alaşım malzemeleridir.
Yayın tarihi: 22 Nisan 2023