Phương pháp phủ màng bằng nguồn bay hơi điện trở là một phương pháp phủ màng bay hơi chân không cơ bản. "Bay hơi" ở đây đề cập đến phương pháp chế tạo màng mỏng, trong đó vật liệu phủ được nung nóng và bay hơi trong buồng chân không, khiến các nguyên tử hoặc phân tử vật liệu bay hơi và thoát ra khỏi bề mặt, tạo thành hiện tượng dòng hơi, tác động lên bề mặt chất nền hoặc đế, và cuối cùng ngưng tụ để tạo thành một lớp màng rắn.
Phương pháp phủ nguồn bay hơi bằng điện trở, hay còn gọi là phương pháp sử dụng tantali, molypden, vonfram và các kim loại có điểm nóng chảy cao khác để tạo hình dạng nguồn bay hơi phù hợp, sau đó cho vật liệu cần bay hơi vào, cho không khí lưu thông qua, trực tiếp làm nóng và làm bay hơi vật liệu, hoặc cho vật liệu cần bay hơi vào các chén nung bằng alumina, oxit berili và các vật liệu khác để làm nóng và bay hơi gián tiếp. Đây chính là phương pháp bay hơi bằng gia nhiệt điện trở.
Cáimáy phủ bay hơi chân khôngPhương pháp nung nóng và bay hơi bằng điện trở có ưu điểm là cấu trúc đơn giản, chi phí thấp và sử dụng đáng tin cậy. Nó có thể được sử dụng để phủ bay hơi các vật liệu có điểm nóng chảy thấp, đặc biệt là trong sản xuất hàng loạt với yêu cầu thấp về chất lượng lớp phủ. Cho đến nay, vẫn còn rất nhiều quy trình phủ bằng phương pháp nung nóng và bay hơi bằng điện trở được sử dụng trong sản xuất gương mạ nhôm.
Nhược điểm của phương pháp phủ màng bay hơi bằng nguồn bay hơi điện trở là nhiệt độ tối đa có thể đạt được bằng cách gia nhiệt bị hạn chế, và tuổi thọ của bộ gia nhiệt cũng ngắn. Trong những năm gần đây, để cải thiện tuổi thọ của nguồn bay hơi điện trở, các nhà máy sản xuất thiết bị đã sử dụng vật liệu gốm dẫn điện được tổng hợp từ boron nitride có tuổi thọ cao làm nguồn bay hơi. Theo một báo cáo bằng sáng chế của Nhật Bản, có thể sử dụng vật liệu bao gồm 20%~30% boron nitride và vật liệu chịu lửa có thể nung chảy với nó để chế tạo nguồn bay hơi (nồi nung), và phủ lên bề mặt của nó một lớp zirconium chứa 62%~82%, phần còn lại là vật liệu hợp kim zirconium-silicon.
Thời gian đăng bài: 22/04/2023