ما هو طلاء مصدر التبخر المقاوم؟

يُعد طلاء مصدر التبخير المقاوم طريقة أساسية لطلاء التبخير الفراغي. ويشير مصطلح "التبخير" إلى طريقة تحضير طبقة رقيقة يتم فيها تسخين مادة الطلاء في حجرة مفرغة من الهواء وتبخيرها، بحيث تتبخر ذرات أو جزيئات المادة وتخرج من السطح، مُشكلةً ظاهرة تدفق البخار، الذي يسقط على سطح الركيزة أو المادة المراد طلاؤها، ويتكثف في النهاية ليشكل طبقة صلبة.

تعتمد طريقة طلاء مصدر التبخير المقاوم، كما تُعرف، على استخدام التنتالوم والموليبدينوم والتنغستن وغيرها من المعادن ذات درجة الانصهار العالية لتشكيل مصدر تبخير مناسب، يُملأ بالمواد المراد تبخيرها، ويُمرر الهواء من خلاله لتسخين المواد وتبخيرها مباشرةً. أما طريقة التبخير بالتسخين المقاوم، فتعتمد على وضع المواد المراد تبخيرها في بوتقات من الألومينا أو أكسيد البريليوم أو غيرها من المواد القابلة للتسخين غير المباشر والتبخير.

الآلة طلاء التبخير الفراغيتتميز عملية التسخين والتبخير باستخدام سخان المقاومة ببساطة تركيبها، وانخفاض تكلفتها، وموثوقية استخدامها. ويمكن استخدامها لطلاء المواد ذات درجة الانصهار المنخفضة بالتبخير، وخاصةً في الإنتاج الضخم الذي لا يتطلب معايير جودة عالية للطلاء. وحتى الآن، لا يزال عدد كبير من عمليات الطلاء التي تعتمد على التسخين والتبخير بالمقاومة قيد الاستخدام في إنتاج المرايا المطلية بالألومنيوم.

من عيوب طريقة طلاء مصدر التبخير المقاوم أن درجة الحرارة القصوى التي يمكن الوصول إليها بالتسخين محدودة، كما أن عمر السخان قصير. في السنوات الأخيرة، ولتحسين عمر مصدر التبخير المقاوم، اعتمد مصنع المعدات مادة خزفية موصلة مُصنّعة من نتريد البورون، تتميز بعمرها الطويل، كمصدر للتبخير. ووفقًا لتقرير براءة اختراع يابانية، يمكن استخدام مواد تتكون من 20% إلى 30% من نتريد البورون ومواد حرارية قابلة للصهر معه لصنع مصدر التبخير (البوتقة)، ثم طلاء سطحها بطبقة من الزركونيوم بنسبة 62% إلى 82%، والباقي من سبائك الزركونيوم والسيليكون.