Qarshilik bug'lanish manbai qoplamasi asosiy vakuum bug'lanish qoplama usuli hisoblanadi. "Bug'lanish" yupqa plyonka tayyorlash usulini anglatadi, unda vakuum kamerasidagi qoplama materiali qizdiriladi va bug'lanadi, natijada material atomlari yoki molekulalari bug'lanadi va sirtdan chiqib ketadi, bug' oqimi hodisasini hosil qiladi, substrat yoki substrat yuzasiga tushadi va nihoyat qattiq plyonka hosil qilish uchun kondensatsiyalanadi.
Qarshilik bug'lanish manbai qoplama usuli deb ataladigan usul tantal, molibden, volfram va boshqa yuqori erish nuqtasi metallaridan foydalanib, bug'lanish manbaining mos shaklini hosil qilishdan iborat bo'lib, u bug'lanadigan materiallar bilan to'ldiriladi, havo o'tishiga imkon beradi, bug'langan materiallarni to'g'ridan-to'g'ri isitadi va bug'lantiradi yoki bug'lanadigan materiallarni bilvosita isitish va bug'lantirish uchun alyuminiy oksidi, berilliy oksidi va boshqa tigellarga soladi. Bu qarshilik bilan isitish bug'lanish usuli.
Thevakuumli bug'lanish qoplama mashinasiQarshilik isitgichi bilan isitiladi va bug'lanadi, oddiy tuzilish, arzon narx va ishonchli foydalanish afzalliklariga ega. U past erish nuqtasiga ega materiallarni bug'lanish bilan qoplash uchun, ayniqsa qoplama sifatiga past talablar qo'yilgan ommaviy ishlab chiqarish uchun ishlatilishi mumkin. Hozirgacha alyuminlangan oynalarni ishlab chiqarishda qarshilik bilan isitish va bug'lanishning ko'plab qoplama jarayonlari qo'llanilmoqda.
Qarshilik bug'lanish manbai bug'lanish qoplamasi usulining kamchiliklari shundaki, isitish orqali erishish mumkin bo'lgan maksimal harorat cheklangan va isitgichning xizmat qilish muddati ham qisqa. So'nggi yillarda qarshilik bug'lanish manbaining ishlash muddatini yaxshilash uchun uskunalar zavodi bug'lanish manbai sifatida bor nitridi tomonidan sintez qilingan uzoq umrli o'tkazuvchan keramik materialni qabul qildi. Yaponiya patent hisobotiga ko'ra, u bug'lanish manbasini (tigel) tayyorlash uchun 20% ~ 30% bor nitridi va u bilan eritib yuborilishi mumkin bo'lgan refrakter materiallardan foydalanishi va uning yuzasini 62% ~ 82% ni o'z ichiga olgan sirkoniy qatlami bilan qoplashi mumkin, qolganlari esa sirkoniy-kremniy qotishmasidan tayyorlangan materiallardir.
Nashr vaqti: 2023-yil 22-aprel

