Нанесение покрытия методом резистивного испарения — это базовый метод нанесения покрытий вакуумным испарением. «Испарение» относится к методу получения тонкой пленки, при котором материал покрытия нагревается и испаряется в вакуумной камере, в результате чего атомы или молекулы материала испаряются и покидают поверхность, образуя явление парового потока, который падает на поверхность подложки или субстрата и, наконец, конденсируется, образуя твердую пленку.
Так называемый метод нанесения покрытия с помощью источника резистивного испарения заключается в использовании тантала, молибдена, вольфрама и других металлов с высокой температурой плавления для создания источника испарения соответствующей формы, в который загружаются испаряемые материалы, через который проходит воздух, осуществляя прямой нагрев и испарение испаряемых материалов, или же испаряемые материалы помещаются в тигли из оксида алюминия, оксида бериллия и других материалов для косвенного нагрева и испарения. Это метод испарительного нагрева с резистивным нагревом.
Онвакуумно-испарительная машина для нанесения покрытийНагрев и испарение с помощью резистивного нагревателя обладают преимуществами простой конструкции, низкой стоимости и надежной работы. Они могут использоваться для нанесения покрытий из материалов с низкой температурой плавления, особенно в массовом производстве с низкими требованиями к качеству покрытия. На сегодняшний день в производстве алюминированных зеркал используется большое количество процессов нанесения покрытий с помощью резистивного нагрева и испарения.
Недостатками метода нанесения покрытия с помощью испарительного источника сопротивления являются ограниченная максимальная температура нагрева и короткий срок службы нагревателя. В последние годы, с целью увеличения срока службы испарительных источников сопротивления, заводы-изготовители оборудования стали использовать в качестве испарительного источника проводящий керамический материал, синтезированный из нитрида бора, обладающий длительным сроком службы. Согласно японскому патентному отчету, для создания испарительного источника (тигля) можно использовать материалы, состоящие из 20–30% нитрида бора и огнеупорных материалов, которые могут быть с ним сплавлены, а на его поверхность нанести слой циркония, содержащий 62–82% и остальное – сплав циркония и кремния.
Дата публикации: 22 апреля 2023 г.