Դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի ծածկույթը վակուումային գոլորշիացման հիմնական մեթոդ է:«Գոլորշիացում» վերաբերում է բարակ թաղանթի պատրաստման մեթոդին, երբ վակուումային խցիկում ծածկույթի նյութը տաքացվում և գոլորշիացվում է, որպեսզի նյութի ատոմները կամ մոլեկուլները գոլորշիանան և դուրս գան մակերեսից՝ ձևավորելով գոլորշիների հոսքի երևույթ, որը տեղի է ունենում նյութի մակերեսին։ ենթաշերտ կամ ենթաշերտ, և վերջապես խտացվում է՝ ձևավորելով ամուր թաղանթ:
Այսպես կոչված դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի ծածկույթի մեթոդը տանտալ, մոլիբդեն, վոլֆրամ և այլ բարձր հալեցման կետով մետաղներ օգտագործելն է՝ գոլորշիացման աղբյուրի համապատասխան ձև ստանալու համար, որը բեռնված է գոլորշիացման նյութերով, թույլ է տալիս օդը հոսել միջով, ուղղակիորեն տաքացնել և տաքացնել: գոլորշիացնել գոլորշիացված նյութերը կամ գոլորշիացվող նյութերը դնել ալյումինի, բերիլիումի օքսիդի և այլ կարասների մեջ՝ անուղղակի տաքացնելու և գոլորշիացնելու համար։Սա դիմադրության ջեռուցման գոլորշիացման մեթոդն է:
Այնվակուումային գոլորշիացման ծածկույթի մեքենաՋեռուցվում և գոլորշիացվում է դիմադրողական ջեռուցիչով, ունի պարզ կառուցվածքի, ցածր գնի և հուսալի օգտագործման առավելություններ:Այն կարող է օգտագործվել ցածր հալման ջերմաստիճան ունեցող նյութերի գոլորշիացման համար, հատկապես ծածկույթի որակի ցածր պահանջներով զանգվածային արտադրության համար:Մինչ այժմ ալյումինացված հայելիների արտադրության մեջ օգտագործվում են դիմադրողական ջեռուցման և գոլորշիացման ծածկույթների մեծ թվով գործընթացներ:
Դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի գոլորշիացման ծածկույթի մեթոդի թերություններն այն են, որ առավելագույն ջերմաստիճանը, որին կարելի է հասնել ջեռուցման միջոցով, սահմանափակ է, և ջեռուցիչի ծառայության ժամկետը նույնպես կարճ է:Վերջին տարիներին, դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի կյանքը բարելավելու համար, սարքավորումների գործարանը ընդունել է հաղորդիչ կերամիկական նյութը, որը սինթեզված է բորի նիտրիդով, երկար կյանքով որպես գոլորշիացման աղբյուր:Ըստ ճապոնական արտոնագրային հաշվետվության՝ այն կարող է օգտագործել 20%-30% բորի նիտրիդից և հրակայուն նյութերից բաղկացած նյութեր, որոնք կարող են միաձուլվել դրա հետ՝ գոլորշիացման աղբյուրը պատրաստելու համար, և դրա մակերեսը ծածկել 62% պարունակող ցիրկոնիումի շերտով: ~82%, իսկ մնացածը ցիրկոնիում-սիլիկոնի համաձուլվածքի նյութեր են։
Հրապարակման ժամանակը՝ ապրիլի 22-2023