真空陰極アークイオンコーティングの概要

真空陰極アークイオンcoating は真空アークと略されますco2つ以上の真空アーク蒸着源（アーク源と呼ばれる）を使用する場合、それはマルチアークイオン蒸着と呼ばれます。coレーティングまたはマルチアークco蒸着。真空アーク放電を蒸着源として用いる真空イオンコーティング技術です。中空陰極放電の高温電子アークとは異なり、冷陰極表面に陰極アークスポットが形成されるのが特徴です。

真空陰極アークイオンの特性co内容は以下の通りです。

（１）蒸着源は固体陰極ターゲットであり、溶融池を必要とせずに陰極ターゲット源から直接プラズマを発生させる。アークターゲット源は任意の方向に配置でき、均一なコーティングを確保するために複数の源を配置できる。

（２）装置構造は比較的単純で、作動ガスや補助的なイオン化方法を必要としません。アークターゲット源は、陰極材料の蒸発源であるだけでなく、イオン源でもあります。反応性蒸着中は反応性ガスのみが存在し、雰囲気は単純な全圧制御によって制御されます。

（３）電離率が高く、一般的に６０％〜８０％に達し、堆積率が高い。

（４）入射イオンエネルギーが高く、成膜された膜の膜／基板結合力が良好である。

（５）安全な動作のために低電圧電源を使用する。

（６）金属膜、合金膜を成膜したり、様々な化合物膜（アンモニア化合物、炭化物、酸化物）を反応・合成したり、DLC膜、CN膜などを合成したりすることができる。欠点は、成膜中にターゲット表面から微細な液滴が飛散し、それがコーティングされた膜層内で凝縮して膜層の粗さが増加することである。現在、これらの微細な液滴を低減・除去するための多くの効果的な方法が研究されている。

真空アークイオンcoコーティング技術は、工具や金型用の超硬質保護コーティングのコーティングに広く使用されています。フィルムシステムには、TiN、ZrN、HfN、TiAIN、TiC、TiNC、CrN、Al2O3、DLCなどがあります。コーティング製品には、工具、金型などがあります。模造金やカラー装飾保護コーティングに関しては、フィルムシステムには、TiN、ZrN、TiAIN、TiAINC、TC、TiNC、DLC、Ti-ON、TONC、ZrCN、Zr-ONなどがあります。カラーフィルムシステムには、ガンブラック、ブラック、パープル、ブラウン、ブルー、グリーン、グレーなどがあります。

マルチアークイオンcoこのコーティングは幅広い用途と高い実用性を持ち、特に切削工具、金型、ステンレス鋼板などの材料表面に装飾的で耐摩耗性に優れた硬質皮膜層をコーティングする際に有効です。