Вакуумный катодный дуговой ионныйcoating сокращенно обозначается как вакуумная дуга.coЕсли используются два или более вакуумных дуговых источника испарения (называемых дуговыми источниками), это называется многодуговым ионизационным методом.coаттинг или многодуговойcoИонное напыление — это технология вакуумного ионного напыления, использующая вакуумный дуговой разряд в качестве источника испарения. В отличие от горячей электронной дуги разряда полого катода, в данном случае форма дуги заключается в образовании катодных дуговых пятен на поверхности холодного катода.
Характеристики вакуумной катодной дуговой ионной сваркиcoК числу аттестуемых относятся:
(1) Источником испарения является твердая катодная мишень, которая непосредственно генерирует плазму из источника катодной мишени без необходимости использования расплавленной ванны. Источник дуговой мишени может быть расположен в любом направлении, и несколько источников могут обеспечить равномерное покрытие.
(2) Конструкция оборудования относительно проста, не требует рабочего газа или вспомогательных методов ионизации. Дуговой мишень является не только источником испарения катодного материала, но и источником ионов; во время реактивного осаждения присутствует только реактивный газ, а атмосфера контролируется с помощью простого полного регулирования давления.
(3) Скорость ионизации высока, обычно достигая 60%–80%, а скорость осаждения высока.
(4) Энергия падающих ионов высока, а сила сцепления пленки с подложкой осажденной пленки хорошая.
(5) Использование источника питания низкого напряжения для безопасной работы.
(6) Он позволяет осаждать металлические пленки, пленки сплавов, реагировать и синтезировать различные пленочные соединения (соединения аммиака, карбиды, оксиды) и даже синтезировать пленки DLC, пленки CN и т. д. Его недостатком является то, что во время осаждения с поверхности мишени разбрызгиваются мельчайшие капли жидкости, которые конденсируются в покрытом пленочном слое и увеличивают шероховатость пленочного слоя. В настоящее время изучено множество эффективных методов для уменьшения и устранения этих микрокапель.
Вакуумная дуговая ионнаяcoТехнология нанесения покрытий широко используется для создания сверхтвердых защитных покрытий для инструментов и пресс-форм. К пленочным системам относятся TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC и др. Покрываемые изделия включают инструменты, пресс-формы и т. д. Что касается имитации золота и цветных декоративных защитных покрытий, то к пленочным системам относятся TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON и др. Цветные пленочные системы включают в себя: черный, фиолетовый, коричневый, синий, зеленый, серый и др.
Многодуговой ионcoНанесение покрытий имеет широкий спектр применения и высокую практичность, особенно при создании декоративных и износостойких твердых пленочных покрытий на поверхностях таких материалов, как режущие инструменты, пресс-формы и пластины из нержавеющей стали.
Дата публикации: 17 августа 2023 г.