ভ্যাকুয়াম ক্যাথোড আর্ক আয়নcoভ্যাকুয়াম আর্ককে সংক্ষেপে বলা হয়coযদি দুই বা ততোধিক ভ্যাকুয়াম আর্ক ইভাপোরেশন উৎস (যাকে আর্ক উৎস বলা হয়) ব্যবহার করা হয়, তবে একে মাল্টি আর্ক ইভাপোরেশন বলা হয়।coখাওয়ার বা বহু চাপcoএটি একটি ভ্যাকুয়াম আয়ন কোটিং প্রযুক্তি যা বাষ্পীভবনের উৎস হিসেবে ভ্যাকুয়াম আর্ক ডিসচার্জ ব্যবহার করে। হলো ক্যাথোড ডিসচার্জের হট ইলেকট্রন আর্কের বিপরীতে, এর আর্কের ধরন হলো ঠান্ডা ক্যাথোডের পৃষ্ঠে ক্যাথোড আর্ক স্পট তৈরি হওয়া।
ভ্যাকুয়াম ক্যাথোড আর্ক আয়নের বৈশিষ্ট্যcoখাওয়া হচ্ছে:
(1) বাষ্পীভবন উৎস হল একটি কঠিন ক্যাথোড টার্গেট, যা গলিত পুলের প্রয়োজন ছাড়াই সরাসরি ক্যাথোড টার্গেট উৎস থেকে প্লাজমা উৎপন্ন করে। অভিন্ন আবরণ নিশ্চিত করার জন্য আর্ক টার্গেট উৎস যেকোনো দিকে এবং একাধিক উৎস সাজানো যেতে পারে।
(2) সরঞ্জামটির গঠন তুলনামূলকভাবে সরল, এতে কোনো ওয়ার্কিং গ্যাস বা সহায়ক আয়নাইজেশন পদ্ধতির প্রয়োজন হয় না। আর্ক টার্গেট উৎসটি কেবল ক্যাথোড উপাদানের বাষ্পীভবন উৎসই নয়, এটি একটি আয়ন উৎসও; প্রতিক্রিয়াশীল অবক্ষেপণের সময়, কেবল প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস বিদ্যমান থাকে এবং একটি সাধারণ পূর্ণ চাপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে পরিবেশ নিয়ন্ত্রণ করা হয়।
(3) আয়নীকরণের হার বেশি, সাধারণত 60%~80% পর্যন্ত পৌঁছায় এবং জমার হার বেশি।
(4) আপতিত আয়ন শক্তি বেশি, এবং জমা হওয়া ফিল্মের ফিল্ম/সাবস্ট্রেট বন্ধন শক্তি ভালো।
(5) নিরাপদ পরিচালনার জন্য কম ভোল্টেজের পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা।
(6) এটি ধাতব ফিল্ম, সংকর ফিল্ম জমা করতে পারে, বিভিন্ন যৌগিক ফিল্ম (অ্যামোনিয়া যৌগ, কার্বাইড, অক্সাইড) এর সাথে বিক্রিয়া করে সংশ্লেষণ করতে পারে এবং এমনকি DLC ফিল্ম, CN ফিল্ম ইত্যাদিও সংশ্লেষণ করতে পারে। এর অসুবিধা হল যে জমা করার সময়, টার্গেট পৃষ্ঠ থেকে তরলের ক্ষুদ্র ফোঁটা ছিটকে পড়ে, যা প্রলেপযুক্ত ফিল্ম স্তরে ঘনীভূত হয় এবং ফিল্ম স্তরের রুক্ষতা বাড়িয়ে দেয়। বর্তমানে, এই ক্ষুদ্র ফোঁটাগুলি কমাতে এবং দূর করতে অনেক কার্যকর পদ্ধতি নিয়ে গবেষণা করা হয়েছে।
ভ্যাকুয়াম আর্ক আয়নcoসরঞ্জাম এবং ছাঁচের জন্য অতি-কঠিন প্রতিরক্ষামূলক আবরণ দিতে কোটিং প্রযুক্তি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ে আসছে। ফিল্ম সিস্টেমগুলোর মধ্যে রয়েছে TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ইত্যাদি। কোটিং পণ্যগুলোর মধ্যে রয়েছে সরঞ্জাম, ছাঁচ ইত্যাদি। নকল সোনা এবং রঙিন আলংকারিক প্রতিরক্ষামূলক আবরণের ক্ষেত্রে, ফিল্ম সিস্টেমগুলোর মধ্যে রয়েছে TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ইত্যাদি। রঙিন ফিল্ম সিস্টেমগুলোর মধ্যে রয়েছে গান ব্ল্যাক, কালো, বেগুনি, বাদামী, নীল, সবুজ, ধূসর ইত্যাদি।
মাল্টি আর্ক আয়নcoকোটিং-এর ব্যাপক প্রয়োগ এবং শক্তিশালী ব্যবহারিকতা রয়েছে, বিশেষ করে কাটিং টুল, ছাঁচ এবং স্টেইনলেস স্টিল প্লেটের মতো উপকরণের পৃষ্ঠে আলংকারিক এবং ক্ষয়-প্রতিরোধী শক্ত ফিল্মের স্তর লেপন করার ক্ষেত্রে।
পোস্ট করার সময়: ১৭ আগস্ট, ২০২৩