निर्वात कैथोड चाप आयनcoएटिंग को वैक्यूम आर्क के रूप में संक्षिप्त किया जाता हैcoयदि दो या दो से अधिक वैक्यूम आर्क वाष्पीकरण स्रोतों (जिन्हें आर्क स्रोत कहा जाता है) का उपयोग किया जाता है, तो इसे मल्टी आर्क वाष्पीकरण कहा जाता है।coएटिंग या मल्टी आर्कcoयह एक वैक्यूम आयन कोटिंग तकनीक है जो वाष्पीकरण स्रोतों के लिए वैक्यूम आर्क डिस्चार्ज का उपयोग करती है। खोखले कैथोड डिस्चार्ज के गर्म इलेक्ट्रॉन आर्क के विपरीत, इसका आर्क रूप ठंडे कैथोड की सतह पर कैथोड आर्क स्पॉट का निर्माण है।
निर्वात कैथोड आर्क आयन की विशेषताएंcoरेटिंग हैं:
(1) वाष्पीकरण स्रोत एक ठोस कैथोड लक्ष्य है, जो पिघले हुए पूल की आवश्यकता के बिना सीधे कैथोड लक्ष्य स्रोत से प्लाज्मा उत्पन्न करता है। एकसमान कोटिंग सुनिश्चित करने के लिए आर्क लक्ष्य स्रोत को किसी भी दिशा में और कई स्रोतों में व्यवस्थित किया जा सकता है।
(2) उपकरण संरचना अपेक्षाकृत सरल है, जिसमें कार्यशील गैस या सहायक आयनीकरण विधियों की आवश्यकता नहीं होती है। आर्क लक्ष्य स्रोत न केवल कैथोड सामग्री के लिए वाष्पीकरण स्रोत है, बल्कि आयन स्रोत भी है; प्रतिक्रियाशील निक्षेपण के दौरान, केवल प्रतिक्रियाशील गैस मौजूद होती है, और वातावरण को एक सरल पूर्ण दबाव नियंत्रण का उपयोग करके नियंत्रित किया जाता है।
(3) आयनीकरण दर उच्च है, आम तौर पर 60%~80% तक पहुँचती है, और निक्षेपण दर उच्च है।
(4) आपतित आयन ऊर्जा अधिक है, और जमा की गई फिल्म का फिल्म/सब्सट्रेट बंधन बल अच्छा है।
(5) सुरक्षित संचालन के लिए कम वोल्टेज बिजली आपूर्ति का उपयोग करना।
(6) यह धातु की परतें, मिश्र धातु की परतें जमा कर सकता है, विभिन्न यौगिक परतों (अमोनिया यौगिक, कार्बाइड, ऑक्साइड) के साथ अभिक्रिया और संश्लेषण कर सकता है, और यहां तक कि डीएलसी परतें, सीएन परतें आदि भी संश्लेषित कर सकता है। इसकी कमी यह है कि जमाव के दौरान, लक्ष्य सतह से तरल की छोटी-छोटी बूंदें छिटकती हैं, जो लेपित परत में संघनित होकर परत की खुरदरापन बढ़ा देती हैं। वर्तमान में, इन सूक्ष्म बूंदों को कम करने और समाप्त करने के लिए कई प्रभावी विधियों का अध्ययन किया जा रहा है।
वैक्यूम आर्क आयनcoकोटिंग तकनीक का उपयोग औजारों और सांचों के लिए अति कठोर सुरक्षात्मक कोटिंग्स तैयार करने में व्यापक रूप से किया जाता है। फिल्म प्रणालियों में TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC आदि शामिल हैं। कोटिंग उत्पादों में औजार, सांचे आदि शामिल हैं। नकली सोने और रंगीन सजावटी सुरक्षात्मक कोटिंग्स के संदर्भ में, फिल्म प्रणालियों में TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON आदि शामिल हैं। रंगीन फिल्म प्रणालियों में गन ब्लैक, काला, बैंगनी, भूरा, नीला, हरा, ग्रे आदि शामिल हैं।
मल्टी आर्क आयनcoकोटिंग के अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला और मजबूत व्यावहारिकता है, विशेष रूप से काटने के औजारों, सांचों और स्टेनलेस स्टील प्लेटों जैसी सामग्रियों की सतहों पर सजावटी और घिसाव-प्रतिरोधी कठोर फिल्म परतें चढ़ाने में।
पोस्ट करने का समय: 17 अगस्त 2023