Вакуумдук катоддук жаа ионуcoатинг вакуумдук жаа деп кыскартылатcoЭгерде эки же андан көп вакуумдук жаа буулануу булактары (жаа булактары деп аталат) колдонулса, ал көп жаалуу ион деп аталатcoатуучу же көп жаалууcoБул буулануу булактары үчүн вакуумдук жаа разрядын колдонгон вакуумдук иондук каптоо технологиясы. Көңдөй катод разрядынын ысык электрондук жаасынан айырмаланып, анын жаа формасы муздак катоддун бетинде катод жаасынын тактарынын пайда болушу болуп саналат.
Вакуумдук катоддук жаа ионунун мүнөздөмөлөрүcoтөмөнкүлөр болуп саналат:
(1) Буулануу булагы - бул катоддун бута булагы, ал эритилген бассейндин кереги жок эле катоддун бута булагынан плазманы түз пайда кылат. Дого бута булагы бирдей каптоону камсыз кылуу үчүн каалаган багытта жана бир нече булактарда жайгаштырылышы мүмкүн.
(2) Жабдуунун түзүлүшү салыштырмалуу жөнөкөй, жумушчу газды же кошумча иондоштуруу ыкмаларын колдонуунун кажети жок. Дого бута булагы катод материалы үчүн буулануу булагы гана эмес, ошондой эле ион булагы болуп саналат; Реактивдүү чөкмө учурунда реактивдүү газ гана болот жана атмосфера жөнөкөй толук басымды башкаруу аркылуу башкарылат.
(3) Иондоштуруу ылдамдыгы жогору, жалпысынан 60% ~ 80% га жетет жана чөкмө ылдамдыгы жогору.
(4) Түшүп жаткан ион энергиясы жогору жана чөктүрүлгөн пленканын пленка/субстрат байланыш күчү жакшы.
(5) Коопсуз иштөө үчүн төмөнкү чыңалуудагы электр менен камсыздоону колдонуу.
(6) Ал металл пленкаларын, эритме пленкаларын жайгаштыра алат, ар кандай кошулма пленкаларды (аммиак кошулмалары, карбиддер, оксиддер) реакцияга киргизип, синтездей алат, ал тургай DLC пленкаларын, CN пленкаларын ж.б. синтездей алат. Анын кемчилиги - жайгаштыруу учурунда максаттуу беттен суюктуктун кичинекей тамчылары чачырап, алар капталган пленка катмарында конденсацияланып, пленка катмарынын оройлугун жогорулатат. Учурда бул микро тамчыларды азайтуу жана жок кылуу үчүн көптөгөн натыйжалуу ыкмалар изилденген.
Вакуумдук жаа ионуcoКатуулоо технологиясы шаймандар жана калыптар үчүн өтө катуу коргоочу каптамаларды каптоо үчүн кеңири колдонулуп келет. Плёнка системаларына TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ж.б. кирет. Каптоо продукцияларына шаймандар, калыптар ж.б. кирет. Алтынды жана түстүү декоративдик коргоочу каптамаларды туурап, плёнка системаларына TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ж.б. кирет. Түстүү плёнка системаларына кара, кара, кызгылт көк, күрөң, көк, жашыл боз ж.б. кирет.
Көп жаалуу ионcoКесүүчү шаймандар, калыптар жана дат баспас болоттон жасалган плиталар сыяктуу материалдардын бетине декоративдик жана эскирүүгө туруктуу катуу пленка катмарларын каптоодо кеңири колдонулушу жана күчтүү практикалык касиети бар.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 17-августу