Wakuum katod ýaý ionycoating gysgaldylanda wakuum ýaýy hökmünde ulanylýarcoating. Eger iki ýa-da ondan köp wakuum ýaý buharlanma çeşmesi (ýaý çeşmeleri diýlip atlandyrylýar) ulanylsa, ol köp ýaýly ion diýlip atlandyrylýarcoating ýa-da köp ýaýlycoBuglanma çeşmeleri üçin wakuum ýaý razryadyny ulanýan wakuum ion örtük tehnologiýasydyr. Içi boş katod razryadynyň gyzgyn elektron ýaýyndan tapawutlylykda, onuň ýaý görnüşi sowuk katodyň ýüzünde katod ýaý tegmilleriniň emele gelmegidir.
Wakuum katod ýaý ionunyň häsiýetnamalarycoattingler:
(1) Buharlandyryş çeşmesi berk katod nyşanasy bolup, ol ereýän howuza mätäçlik döretmezden, katod nyşan çeşmesinden gönüden-göni plazma öndürýär. Ýaý nyşan çeşmesi birmeňzeş örtügi üpjün etmek üçin islendik ugurda we köp çeşmede ýerleşdirilip bilner.
(2) Enjamyň gurluşy işçi gaz ýa-da kömekçi ionizasiýa usullaryna zerurlyk bolmazdan, deňeşdirme boýunça ýönekeýdir. Ýaý nyşana çeşmesi diňe katod materialy üçin bugaryş çeşmesi däl, eýsem ion çeşmesidir; Reaktiw çökündi wagtynda diňe reaktiw gaz bolýar we atmosfera ýönekeý doly basyş gözegçiligi arkaly dolandyrylýar.
(3) Ionlaşma tizligi ýokary, adatça 60% ~ 80% ýetýär we çökündi tizligi ýokary.
(4) Düşýän ion energiýasy ýokary we çökdürilen plýonkanyň plýonka/substrat baglanyş güýji gowy.
(5) Howpsuz işlemek üçin pes woltly elektrik üpjünçiligini ulanmak.
(6) Ol metal plýonkalaryny, legirlenmiş plýonkalary çökdürip, dürli birleşme plýonkalaryny (ammiak birleşmeleri, karbidler, oksidler) reaksiýa geçirip we sintez edip bilýär, hatda DLC plýonkalaryny, CN plýonkalaryny we ş.m. sintez edip bilýär. Onuň kemçiligi, çökdürilende nyşana ýüzünden kiçijik suwuk damjalarynyň sepilmegidir, olar örtülen plýonka gatlagynda kondensasiýalaşýar we plýonka gatlagynyň gödekligini ýokarlandyrýar. Häzirki wagtda bu mikro damjalary azaltmak we ýok etmek üçin köp sanly netijeli usullar öwrenildi.
Wakuum ýaý ionycoÖrtük tehnologiýasy gurallar we galyplar üçin örän berk gorag örtüklerini örtmek üçin giňden ulanylýar. Plýonka ulgamlaryna TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC we ş.m. girýär. Örtük önümlerine gurallar, galyplar we ş.m. girýär. Altyn reňkli we reňkli bezeg gorag örtükleri babatda plýonka ulgamlaryna TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON we ş.m. girýär. Reňkli plýonka ulgamlaryna gara, gara, gyrmyzy, goňur, gök Ýaşyl çal we ş.m. girýär.
Köp ýaýly ioncoating, esasanam kesiji gurallar, galyplar we poslamaýan polat plitalar ýaly materiallaryň ýüzüne bezeg we aşynma çydamly gaty plýonka gatlaklaryny örtmekde giň ulanylyş çägine we güýçli amalyýete eýedir.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 17-nji awgusty