వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్ కోటింగ్ యొక్క అవలోకనం

వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్coఏటింగ్ ను వాక్యూమ్ ఆర్క్ అని సంక్షిప్తీకరిస్తారుcoరెండు లేదా అంతకంటే ఎక్కువ వాక్యూమ్ ఆర్క్ ఎవాపరేషన్ సోర్స్‌లను (వీటిని ఆర్క్ సోర్స్‌లు అంటారు) ఉపయోగిస్తే, దానిని మల్టీ ఆర్క్ ఎవాపరేషన్ అంటారు.coఏటింగ్ లేదా మల్టీ ఆర్క్coకోటింగ్. ఇది బాష్పీభవన వనరుల కోసం వాక్యూమ్ ఆర్క్ డిశ్చార్జ్‌ను ఉపయోగించే ఒక వాక్యూమ్ అయాన్ కోటింగ్ సాంకేతికత. హాలో కాథోడ్ డిశ్చార్జ్ యొక్క హాట్ ఎలక్ట్రాన్ ఆర్క్‌కు భిన్నంగా, దీని ఆర్క్ రూపం కోల్డ్ కాథోడ్ ఉపరితలంపై కాథోడ్ ఆర్క్ స్పాట్‌లను ఏర్పరచడం.

వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్ యొక్క లక్షణాలుcoఏటింగ్‌లు:

(1) బాష్పీభవన మూలం అనేది ఒక ఘన కాథోడ్ టార్గెట్, ఇది కరిగిన పూల్ అవసరం లేకుండా కాథోడ్ టార్గెట్ మూలం నుండి నేరుగా ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఏకరీతి పూతను నిర్ధారించడానికి ఆర్క్ టార్గెట్ మూలాన్ని ఏ దిశలోనైనా మరియు బహుళ మూలాలతో అమర్చవచ్చు.

(2) పరికర నిర్మాణం సాపేక్షంగా సరళంగా ఉంటుంది, దీనికి వర్కింగ్ గ్యాస్ లేదా సహాయక అయనీకరణ పద్ధతుల అవసరం లేదు. ఆర్క్ టార్గెట్ సోర్స్ అనేది కాథోడ్ మెటీరియల్ కోసం ఒక బాష్పీభవన మూలం మాత్రమే కాకుండా, ఒక అయాన్ సోర్స్ కూడా; రియాక్టివ్ డిపోజిషన్ సమయంలో, రియాక్టివ్ గ్యాస్ మాత్రమే ఉంటుంది, మరియు ఒక సాధారణ పూర్తి పీడన నియంత్రణను ఉపయోగించి వాతావరణం నియంత్రించబడుతుంది.

(3) అయనీకరణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది, సాధారణంగా 60%~80% వరకు చేరుకుంటుంది మరియు నిక్షేపణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది.

(4) సంఘటన అయాన్ శక్తి ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు జమ చేయబడిన ఫిల్మ్ యొక్క ఫిల్మ్/సబ్‌స్ట్రేట్ బంధన శక్తి బాగుంటుంది.

(5) సురక్షితమైన ఆపరేషన్ కోసం తక్కువ వోల్టేజ్ విద్యుత్ సరఫరాను ఉపయోగించడం.

(6) ఇది లోహపు పొరలను, మిశ్రమలోహపు పొరలను నిక్షేపించగలదు, వివిధ సమ్మేళన పొరలను (అమ్మోనియా సమ్మేళనాలు, కార్బైడ్‌లు, ఆక్సైడ్‌లు) చర్య జరిపి సంశ్లేషణ చేయగలదు, ఇంకా DLC పొరలు, CN పొరలు మొదలైనవాటిని కూడా సంశ్లేషణ చేయగలదు. దీని ప్రతికూలత ఏమిటంటే, నిక్షేపణ సమయంలో, లక్ష్య ఉపరితలం నుండి చిన్న ద్రవ బిందువులు చిందుతాయి, ఇవి పూత పూసిన పొరలో ఘనీభవించి పొర యొక్క గరుకుదనాన్ని పెంచుతాయి. ప్రస్తుతం, ఈ సూక్ష్మ బిందువులను తగ్గించడానికి మరియు తొలగించడానికి అనేక ప్రభావవంతమైన పద్ధతులు అధ్యయనం చేయబడ్డాయి.

వాక్యూమ్ ఆర్క్ అయాన్coపనిముట్లు మరియు అచ్చుల కోసం అత్యంత గట్టి రక్షణ పూతలను పూయడానికి పూత సాంకేతికత విస్తృతంగా ఉపయోగించబడింది. ఫిల్మ్ సిస్టమ్స్‌లో TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC మొదలైనవి ఉన్నాయి. పూత ఉత్పత్తులలో పనిముట్లు, అచ్చులు మొదలైనవి ఉంటాయి. అనుకరణ బంగారం మరియు రంగు అలంకరణ రక్షణ పూతల విషయానికొస్తే, ఫిల్మ్ సిస్టమ్స్‌లో TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON మొదలైనవి ఉన్నాయి. రంగు ఫిల్మ్ సిస్టమ్స్‌లో గన్ బ్లాక్, బ్లాక్, పర్పుల్, బ్రౌన్, బ్లూ, గ్రీన్, గ్రే మొదలైనవి ఉన్నాయి.

మల్టీ ఆర్క్ అయాన్coపూతకు విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలు మరియు బలమైన ఆచరణాత్మకత ఉన్నాయి, ముఖ్యంగా కటింగ్ టూల్స్, అచ్చులు మరియు స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ప్లేట్లు వంటి పదార్థాల ఉపరితలాలపై అలంకార మరియు అరుగుదలను తట్టుకునే గట్టి ఫిల్మ్ పొరలను పూయడంలో ఇది ఉపయోగపడుతుంది.