ionisation par arc cathodique sous videcoLe terme « ating » est abrégé en « arc sous vide ».coSi deux sources d'évaporation à arc sous vide ou plus (appelées sources à arc) sont utilisées, on parle d'ionisation par arc multiplecoarcs multiples ou multiplescoLe dépôt ionique sous vide est une technologie de revêtement par évaporation utilisant une décharge d'arc sous vide. Contrairement à l'arc d'électrons chauds de la décharge à cathode creuse, l'arc sous vide se caractérise par la formation de points d'arc cathodique à la surface de la cathode froide.
Caractéristiques de l'arc ionique cathodique sous videcoles rencontres sont :
(1) La source d'évaporation est une cible cathodique solide qui génère directement le plasma sans nécessiter de bain de fusion. La cible d'arc peut être orientée dans n'importe quelle direction et plusieurs sources peuvent être utilisées pour assurer un revêtement uniforme.
(2) La structure de l'équipement est relativement simple et ne nécessite ni gaz de travail ni méthode d'ionisation auxiliaire. La source à arc sert non seulement à l'évaporation du matériau cathodique, mais aussi de source d'ions. Lors du dépôt réactif, seul un gaz réactif est présent et l'atmosphère est contrôlée par un système de régulation de pression simple.
(3) Le taux d'ionisation est élevé, atteignant généralement 60 à 80 %, et le taux de dépôt est élevé.
(4) L'énergie des ions incidents est élevée et la force de liaison film/substrat du film déposé est bonne.
(5) Utilisation d'une alimentation basse tension pour un fonctionnement sûr.
(6) Ce procédé permet le dépôt de films métalliques et d'alliages, la synthèse de divers films composés (composés d'ammoniac, carbures, oxydes), et même la synthèse de films DLC, CN, etc. Son principal inconvénient réside dans les projections de microgouttelettes de liquide depuis la surface cible lors du dépôt. Ces microgouttelettes se condensent dans la couche déposée, augmentant ainsi sa rugosité. De nombreuses méthodes efficaces ont été étudiées afin de réduire, voire d'éliminer, ces microgouttelettes.
ionisation par arc sous videcoLa technologie de dépôt par oxydation est largement utilisée pour appliquer des revêtements protecteurs ultra-durs sur les outils et les moules. Les systèmes de films comprennent TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC, etc. Les produits revêtus incluent les outils, les moules, etc. En ce qui concerne les revêtements protecteurs décoratifs imitant l'or et les couleurs, les systèmes de films comprennent TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Les systèmes de films colorés incluent le noir canon de fusil, le noir, le violet, le brun, le bleu-vert, le gris, etc.
ionisation à arc multiplecoLe revêtement a une large gamme d'applications et une grande praticité, notamment pour le dépôt de couches de film dur décoratives et résistantes à l'usure sur les surfaces de matériaux tels que les outils de coupe, les moules et les plaques en acier inoxydable.
Date de publication : 17 août 2023