진공 음극 아크 이온coating은 vacuum arc의 약자로 사용됩니다.co두 개 이상의 진공 아크 증발 소스(아크 소스라고도 함)를 사용하는 경우, 이를 다중 아크 이온 증착이라고 합니다.coating 또는 다중 아크co진공 이온 코팅은 진공 아크 방전을 증발원으로 사용하는 기술입니다. 중공 음극 방전의 고온 전자 아크와는 달리, 진공 이온 코팅의 아크 형태는 냉음극 표면에 음극 아크 반점이 형성되는 것입니다.
진공 음극 아크 이온의 특성coating은 다음과 같습니다:
(1) 증발 소스는 고체 음극 타겟으로, 용융 풀이 필요 없이 음극 타겟 소스에서 직접 플라즈마를 생성합니다. 아크 타겟 소스는 균일한 코팅을 보장하기 위해 어떤 방향으로든 배치할 수 있고 여러 소스를 사용할 수 있습니다.
(2) 장비 구조가 비교적 간단하며 작업 가스나 보조 이온화 방법이 필요하지 않습니다. 아크 타겟 소스는 음극 재료의 증발 소스일 뿐만 아니라 이온 소스이기도 합니다. 반응 증착 동안 반응 가스만 존재하며 분위기는 간단한 전체 압력 제어를 사용하여 제어됩니다.
(3) 이온화율이 높고 일반적으로 60%~80%에 달하며 증착률도 높습니다.
(4) 입사 이온 에너지가 높고 증착된 필름의 필름/기판 결합력이 좋습니다.
(5) 안전한 작동을 위해 저전압 전원 공급 장치를 사용합니다.
(6) 금속막, 합금막을 증착하고, 다양한 화합물막(암모니아 화합물, 탄화물, 산화물)을 반응 및 합성할 수 있으며, 심지어 DLC막, CN막 등을 합성할 수도 있습니다. 단점은 증착 과정에서 대상 표면에서 미세한 액체 방울이 튀어 올라 코팅된 막층에 응축되어 막층의 거칠기를 증가시킨다는 것입니다. 현재 이러한 미세 방울을 줄이거나 제거하기 위한 많은 효과적인 방법들이 연구되고 있습니다.
진공 아크 이온co코팅 기술은 공구 및 금형용 초경질 보호 코팅에 널리 사용되어 왔습니다. 필름 시스템에는 TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC 등이 있습니다. 코팅 제품은 공구, 금형 등이 있습니다. 모조 금 및 컬러 장식 보호 코팅의 경우, 필름 시스템에는 TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON 등이 있습니다. 컬러 필름 시스템에는 건메탈 블랙, 블랙, 퍼플, 브라운, 블루, 그린, 그레이 등이 있습니다.
다중 아크 이온co코팅은 특히 절삭 공구, 금형, 스테인리스강판과 같은 재료 표면에 장식적이고 내마모성 있는 경질 피막층을 코팅하는 데 있어 광범위한 응용 분야와 높은 실용성을 가지고 있습니다.
게시 시간: 2023년 8월 17일