Вакуумдық катод доғасының ионыcoатинг қысқартылған түрде вакуумдық доға деп аталадыcoЕгер екі немесе одан да көп вакуумдық доғалық булану көздері (доғалық көздер деп аталады) пайдаланылса, ол көп доғалық ион деп аталады.coату немесе көп доғалыcoБұл булану көздері үшін вакуумдық доғалық разрядты пайдаланатын вакуумдық-иондық жабын технологиясы. Қуыс катодтық разрядтың ыстық электронды доғасынан айырмашылығы, оның доғалық формасы суық катодтың бетінде катодтық доғалық дақтардың пайда болуы болып табылады.
Вакуумдық катод доғасы ионының сипаттамаларыcoату дегеніміз:
(1) Булану көзі - қатты катод нысанасы, ол балқытылған бассейннің қажетінсіз катод нысана көзінен плазманы тікелей шығарады. Доға нысана көзін біркелкі жабынды қамтамасыз ету үшін кез келген бағытта және бірнеше көзде орналастыруға болады.
(2) Жабдықтың құрылымы салыстырмалы түрде қарапайым, жұмыс газын немесе қосалқы иондау әдістерін қажет етпейді. Доға нысанасы көзі катод материалы үшін булану көзі ғана емес, сонымен қатар ион көзі болып табылады; Реактивті тұндыру кезінде тек реактивті газ болады және атмосфера қарапайым толық қысымды басқару арқылы басқарылады.
(3) Иондану жылдамдығы жоғары, әдетте 60% ~ 80% жетеді, ал тұндыру жылдамдығы жоғары.
(4) Түсетін ион энергиясы жоғары, ал тұндырылған пленканың пленкасы/субстрат байланыс күші жақсы.
(5) Қауіпсіз жұмыс істеу үшін төмен кернеулі қуат көзін пайдалану.
(6) Ол металл пленкаларын, қорытпа пленкаларын тұндыруға, әртүрлі қосылыс пленкаларын (аммиак қосылыстары, карбидтер, оксидтер) реакцияға түсіріп, синтездеуге, тіпті DLC пленкаларын, CN пленкаларын және т.б. синтездеуге қабілетті. Оның кемшілігі - тұндыру кезінде нысана бетінен сұйықтықтың ұсақ тамшылары шашырап, олар қапталған пленка қабатында конденсацияланып, пленка қабатының кедір-бұдырлығын арттырады. Қазіргі уақытта бұл микро тамшыларды азайту және жоюдың көптеген тиімді әдістері зерттелген.
Вакуумдық доға ионыcoҚаптау технологиясы құралдар мен қалыптарға арналған аса қатты қорғаныс жабындарын жабу үшін кеңінен қолданылды. Пленкалық жүйелерге TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC және т.б. жатады. Қаптау өнімдеріне құралдар, қалыптар және т.б. жатады. Алтын және түрлі-түсті декоративті қорғаныс жабындарын имитациялау тұрғысынан пленкалық жүйелерге TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON және т.б. жатады. Түрлі-түсті пленкалық жүйелерге мылтық қара, қара, күлгін, қоңыр, көк, жасыл сұр және т.б. жатады.
Көп доғалы ионcoКесу құралдары, қалыптар және тот баспайтын болат пластиналар сияқты материалдардың бетіне сәндік және тозуға төзімді қатты пленка қабаттарын жабуда кең ауқымды қолданылуы мен жоғары практикалық қасиеттері бар.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 17 тамыз