arco iónico de cátodo de vacíocoEl término "ateing" se abrevia como "vacío arc".coSi se utilizan dos o más fuentes de evaporación por arco de vacío (denominadas fuentes de arco), se denomina ionización por arco múltiple.coarco o arco múltiplecoSe trata de una tecnología de recubrimiento iónico al vacío que utiliza una descarga de arco al vacío como fuente de evaporación. A diferencia del arco de electrones calientes de la descarga de cátodo hueco, su forma de arco consiste en la formación de puntos de arco catódico en la superficie del cátodo frío.
Las características del arco iónico del cátodo de vacíococomer son:
(1) La fuente de evaporación es un cátodo sólido que genera plasma directamente sin necesidad de un baño de material fundido. La fuente del arco eléctrico puede disponerse en cualquier dirección y utilizarse múltiples fuentes para garantizar un recubrimiento uniforme.
(2) La estructura del equipo es relativamente simple, sin necesidad de gas de trabajo ni métodos de ionización auxiliares. La fuente del blanco del arco no solo es una fuente de evaporación para el material del cátodo, sino también una fuente de iones; durante la deposición reactiva, solo existe gas reactivo y la atmósfera se controla mediante un sencillo control de presión total.
(3) La tasa de ionización es alta, generalmente alcanzando entre el 60% y el 80%, y la tasa de deposición es alta.
(4) La energía del ión incidente es alta y la fuerza de unión película/sustrato de la película depositada es buena.
(5) Utilizar una fuente de alimentación de bajo voltaje para un funcionamiento seguro.
(6) Puede depositar películas metálicas, películas de aleación, reaccionar y sintetizar diversas películas compuestas (compuestos de amoníaco, carburos, óxidos), e incluso sintetizar películas de DLC, películas de CN, etc. Su desventaja radica en que, durante la deposición, se desprenden pequeñas gotas de líquido de la superficie objetivo, las cuales se condensan en la capa de película depositada y aumentan su rugosidad. Actualmente, se han estudiado numerosos métodos eficaces para reducir y eliminar estas microgotas.
arco iónico de vacíocoLa tecnología de recubrimiento se ha utilizado ampliamente para aplicar recubrimientos protectores súper duros a herramientas y moldes. Los sistemas de película incluyen TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Los productos de recubrimiento incluyen herramientas, moldes, etc. En cuanto a los recubrimientos protectores decorativos de imitación de oro y color, los sistemas de película incluyen TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Los sistemas de película de color incluyen negro de pistola, negro, morado, marrón, azul, verde, gris, etc.
Ión de arco múltiplecoEl recubrimiento tiene una amplia gama de aplicaciones y una gran practicidad, especialmente en el recubrimiento de capas de película dura decorativas y resistentes al desgaste en las superficies de materiales como herramientas de corte, moldes y placas de acero inoxidable.
Fecha de publicación: 17 de agosto de 2023