Aayoonka qaansada cathode-ka faakuumkacoating waxaa loo soo gaabiyaa qaanso faakiyuum ahcoHaddii la isticmaalo laba ama in ka badan oo ilo uumi-baxa faakuumka ah (oo loo yaqaan ilo qaanso), waxaa loo yaqaannaa ion qaanso badancoqaanso ama qaanso badancoTayada. Waa tiknoolajiyad dahaarka ion-ka faakiyuumka ah oo adeegsata daadinta faakiyuumka ee ilaha uumiga. Si ka duwan qaansada elektarooniga kulul ee daadinta cathode-ka godan, qaabkeeda qaansada waa sameynta dhibco qaansada cathode ah oo ku yaal dusha sare ee cathode-ka qabow.
Astaamaha aashitada qaansada cathode vacuumcosifooyinka waa:
(1) Isha uumi-baxa waa bartilmaameed adag oo katoodh ah, kaas oo si toos ah uga soo saara balaasmaha isha bartilmaameedka katoodhka iyada oo aan loo baahnayn barkad dhalaalaysa. Isha bartilmaameedka qaansada waxaa loo habeyn karaa jiho kasta iyo ilo badan si loo hubiyo dahaadh isku mid ah.
(2) Qaab-dhismeedka qalabku waa mid fudud, iyada oo aan loo baahnayn gaas shaqeynaya ama hababka ionization-ka ee kaaliyaha ah. Isha bartilmaameedka arc-ku ma aha oo kaliya isha uumiga ee walxaha kathode-ka, laakiin sidoo kale waa isha ion-ka; Inta lagu jiro dhigista falcelinta, gaaska falcelinta leh oo keliya ayaa jira, jawigana waxaa lagu xakameeyaa iyadoo la adeegsanayo xakameyn cadaadis buuxa oo fudud.
(3) Heerka ionization-ka waa mid sarreeya, guud ahaan wuxuu gaarayaa 60% ~ 80%, heerka dhigistana waa mid sarreeya.
(4) Tamarta ion-ka dhacdada ayaa sareysa, awoodda isku xidhka filimka/substrate-ka ee filimka la dhigayna waa mid wanaagsan.
(5) Isticmaalka koronto yar oo danab leh si loo helo hawlgal ammaan ah.
(6) Waxay dhigi kartaa filimada birta ah, filimada isku-dhafka ah, falcelin kartaa oo sameyn kartaa filimaan isku-dhafan oo kala duwan (isku-dhafka ammonia, carbide, oksaydh), iyo xitaa sameynta filimada DLC, filimada CN, iwm. Khasaaradeeda ayaa ah inta lagu jiro dhigista, dhibco yaryar oo dareere ah ayaa laga soo daadiyaa dusha sare ee bartilmaameedka, kuwaas oo ku urura lakabka filimka dahaaran oo kordhiya qallafsanaanta lakabka filimka. Waqtigan xaadirka ah, habab badan oo wax ku ool ah ayaa la bartay si loo yareeyo loona baabi'iyo dhibcahan yaryar.
Aayoonka faakuumkacoTiknoolajiyadda ating ayaa si weyn loogu isticmaalay in lagu dahaadho dahaarka ilaalinta adag ee qalabka iyo caaryada. Nidaamyada filimada waxaa ka mid ah TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, iwm. Badeecadaha dahaarka waxaa ka mid ah qalab, caaryo, iwm. Marka la eego dahabka ku dayashada iyo dahaarka ilaalinta qurxinta midabka, nidaamyada filimada waxaa ka mid ah TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, iwm. Nidaamyada filimada midabka leh waxaa ka mid ah madow, madow, guduud, bunni, buluug cawl cagaaran, iwm.
Ayoon qaanso badan lehcoAting waxay leedahay codsiyo badan iyo wax ku oolnimo xooggan, gaar ahaan dahaarka lakabyada filimada adag ee qurxinta iyo kuwa u adkaysta inay xirtaan dusha sare ee walxaha sida qalabka jarista, caaryada, iyo saxannada birta aan miridhku lahayn.
Waqtiga boostada: Agoosto-17-2023