Íons de arco catódico a vácuocoAting é abreviado como arco de vácuo.coSe duas ou mais fontes de evaporação por arco a vácuo (referidas como fontes de arco) forem usadas, denomina-se íon multiarco.coarco duplo ou múltiplocoÉ uma tecnologia de revestimento iônico a vácuo que utiliza descarga de arco a vácuo como fonte de evaporação. Diferentemente do arco de elétrons quente da descarga de cátodo oco, seu arco se forma pela criação de pontos de arco catódico na superfície do cátodo frio.
As características do arco de cátodo a vácuo iônicocoting são:
(1) A fonte de evaporação é um alvo de cátodo sólido, que gera plasma diretamente da fonte do alvo do cátodo sem a necessidade de uma poça fundida. A fonte do alvo de arco pode ser disposta em qualquer direção e múltiplas fontes para garantir um revestimento uniforme.
(2) A estrutura do equipamento é relativamente simples, sem necessidade de gás de trabalho ou métodos de ionização auxiliares. A fonte de alvo de arco não é apenas uma fonte de evaporação para o material do cátodo, mas também uma fonte de íons; durante a deposição reativa, existe apenas gás reativo, e a atmosfera é controlada usando um controle de pressão total simples.
(3) A taxa de ionização é alta, geralmente atingindo 60%~80%, e a taxa de deposição é alta.
(4) A energia do íon incidente é alta e a força de ligação filme/substrato do filme depositado é boa.
(5) Utilizar uma fonte de alimentação de baixa tensão para operação segura.
(6) Pode depositar filmes metálicos, filmes de liga, reagir e sintetizar vários filmes compostos (compostos de amônia, carbetos, óxidos) e até sintetizar filmes de DLC, filmes de CN, etc. Sua desvantagem é que, durante a deposição, minúsculas gotas de líquido são lançadas da superfície alvo, condensando-se na camada de filme depositada e aumentando a rugosidade da camada. Atualmente, muitos métodos eficazes têm sido estudados para reduzir e eliminar essas microgotículas.
Íons de arco a vácuocoA tecnologia de revestimento tem sido amplamente utilizada para criar revestimentos protetores superduros para ferramentas e moldes. Os sistemas de revestimento incluem TiN, ZrN, HfN, TiAlN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC, etc. Os produtos revestidos incluem ferramentas, moldes, etc. Em termos de revestimentos protetores decorativos coloridos e imitação de ouro, os sistemas de revestimento incluem TiN, ZrN, TiAlN, TiAlNC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Os sistemas de revestimento colorido incluem preto fosco, preto, roxo, marrom, azul, verde, cinza, etc.
Íon de arco múltiplocoA pintura eletrostática possui uma ampla gama de aplicações e grande praticidade, especialmente no revestimento de camadas de película dura decorativas e resistentes ao desgaste em superfícies de materiais como ferramentas de corte, moldes e chapas de aço inoxidável.
Data da publicação: 17 de agosto de 2023