Вакуум катод дуга ионыcoатинг кыскартылган рәвештә вакуум дугасы дип аталаcoатлау. Әгәр ике яки аннан да күбрәк вакуум дуга парландыру чыганагы (дуга чыганаклары дип атала) кулланылса, ул күп дугалы ион дип аталаcoату яки күп дугалыcoБу - парга әйләндерү чыганаклары өчен вакуум дуга разрядын кулланучы вакуум-ион каплау технологиясе. Буш катод разрядының кайнар электрон дугасыннан аермалы буларак, аның дуга формасы салкын катод өслегендә катод дугасы таплары барлыкка килүдән гыйбарәт.
Вакуум катод дуга ионының үзенчәлекләреcoатулар:
(1) Парга әйләндерү чыганагы - каты катодлы максат, ул эретелгән пульс кирәк булмыйча, катодлы максатлы чыганактан турыдан-туры плазма барлыкка китерә. Дугалы максатлы чыганакны теләсә нинди юнәлештә һәм берничә чыганакта урнаштырырга мөмкин, шул рәвешле бер үк каплауны тәэмин итә.
(2) Җиһаз структурасы чагыштырмача гади, эш газы яки ярдәмче ионлаштыру ысуллары кирәк түгел. Дуга максатлы чыганак катод материалы өчен парга әйләндерү чыганагы гына түгел, ә ион чыганагы да булып тора; Реактив утырту вакытында бары тик реактив газ гына була, һәм атмосфера гади тулы басым контроле ярдәмендә контрольдә тотыла.
(3) Ионлашу тизлеге югары, гадәттә 60% ~ 80% ка җитә, һәм утыру тизлеге югары.
(4) Төшкән ион энергиясе югары, һәм урнаштырылган пленканың пленкасы/субстрат бәйләнеш көче яхшы.
(5) Имин эшләү өчен түбән көчәнешле электр чыганагын куллану.
(6) Ул металл пленкаларны, эретмә пленкаларны урнаштыра, төрле кушылма пленкаларны (аммиак кушылмалары, карбидлар, оксидлар) реакциягә кертә һәм синтезлый, хәтта DLC пленкаларын, CN пленкаларын һ.б. синтезлый ала. Аның кимчелеге шунда ки, урнашу вакытында максатлы өслектән кечкенә сыеклык тамчылары сиптерелә, алар капланган пленка катламында конденсацияләнә һәм пленка катламының тупаслыгын арттыра. Хәзерге вакытта бу микро тамчыларны киметү һәм бетерү өчен күп кенә нәтиҗәле ысуллар өйрәнелгән.
Вакуум дугасы ионыcoКаплау технологиясе кораллар һәм калыплар өчен бик каты саклагыч капламалар белән каплау өчен киң кулланыла. Пленка системаларына TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC һ.б. керә. Каплау продуктларына кораллар, калыплар һ.б. керә. Алтын һәм төсле декоратив саклагыч капламалар имитациясенә килгәндә, пленка системаларына TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON һ.б. керә. Төсле пленка системаларына мылтык кара, кара, шәмәхә, көрән, зәңгәр, яшел соры һ.б. керә.
Күп дугалы ионcoАтинг киң кулланылыш диапазонына һәм көчле практиклыкка ия, бигрәк тә кисү кораллары, формалар һәм дат басмас корыч пластиналар кебек материаллар өслегенә декоратив һәм тузуга чыдам каты пленка катламнарын каплауда.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 17 августы