Aotelega o le Vacuum Cathode Arc Ion Coating

Ion fa'asolo o le katote gaogaocoo le "ating" e faapuupuuina o le vacuum arccofa'agaoioiga. Afai e lua pe sili atu punaoa fa'amamago o le vacuum arc (e ta'ua o punaoa arc) e fa'aaogaina, e ta'ua lea o le multi arc ioncoatigi po'o le tele o arccofa'amama. O se tekinolosi ufiufi ion vacuum e fa'aogaina ai le fa'asa'olotoina o le arc vacuum mo puna o le fa'amamago. E le pei o le arc eletise vevela o le fa'asa'olotoina o le cathode gaogao, o lona foliga arc o le fausiaina lea o ni togitogi arc cathode i luga o le cathode malulu.

O uiga o le vacuum cathode arc ioncoo mea nei:

(1) O le puna o le fa'amamago o se fa'amoemoega cathode mautu, lea e gaosia sa'o ai le plasma mai le puna fa'amoemoega cathode e aunoa ma le mana'omia o se vaituloto ua liusuavai. E mafai ona fa'atulaga le puna fa'amoemoega arc i so'o se itu ma le tele o puna e fa'amautinoa ai le ufiufi tutusa.

(2) O le fausaga o le masini e fai si faigofie, e aunoa ma le manaʻomia o le kesi galue poʻo ni metotia fesoasoani ionization. O le puna o le arc target e le gata o se puna o le faʻamamago mo le mea cathode, ae o se puna ion foi; I le taimi o le reactive deposition, e naʻo le kesi reactive e iai, ma o le ea e pulea e faʻaaoga ai se pulea atoatoa o le mamafa.

(3) E maualuga le fua faatatau o le ionization, e masani ona oʻo atu i le 60% ~ 80%, ma e maualuga foʻi le fua faatatau o le deposition.

(4) E maualuga le malosiaga o le ion e ulufale mai, ma e lelei le malosi o le pipii o le ata tifaga/substrate o le ata tifaga ua teuina.

(5) Fa'aaogaina o se sapalai eletise maualalo le voltage mo le fa'agaioiga saogalemu.

(6) E mafai ona teuina ni ata u'amea, ni ata u'amea fa'afefiloi, fa'afetaui ma fa'aputuina ni ata eseese (ammonia compounds, carbides, oxides), ma e o'o lava i le fa'aputuina o ata DLC, ni ata CN, ma isi. O lona le lelei o le taimi e teuina ai, e sasa'a mai ai ni mataua laiti o le vai mai le fogāeleele o lo'o fa'amoemoe i ai, lea e fa'aputu i totonu o le vaega o le ata ua ufiufi ma fa'ateleina ai le ma'a'a o le vaega o le ata. I le taimi nei, ua tele auala lelei ua su'esu'eina e fa'aitiitia ma fa'aumatia ai nei mataua laiti.

Ion fa'alava o le vacuumcoUa fa'aaogaina lautele le tekinolosi fa'aonaponei e ufiufi ai mea puipui malolosi mo meafaigaluega ma mamanu. O faiga ata tifaga e aofia ai le TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ma isi. O oloa ufiufi e aofia ai meafaigaluega, mamanu, ma isi. I tulaga o auro fa'ata'ita'i ma vali puipui teuteu lanu, o faiga ata tifaga e aofia ai le TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ma isi. O faiga ata tifaga lanu e aofia ai le uliuli fana, uliuli, violē, enaena, lanumoana lanumeamata efuefu, ma isi.

Tele arc ioncoE tele fa'aoga o le fa'aaogaina o mea e pei o le u'amea ma e tele lona aogā, aemaise lava i le ufiufiina o vaega teuteu ma vaega malō e tete'e i le ofuina i luga o mea e pei o meafaigaluega tipi, fa'ata'ita'iga, ma papatusi u'amea e le gaoia.