Vakuumli katod yoy ionicoating vakuum yoyi sifatida qisqartiriladicoAgar ikki yoki undan ortiq vakuum yoyli bug'lanish manbalari (yoy manbalari deb ataladi) ishlatilsa, u ko'p yoyli ion deb ataladicoating yoki ko'p yoylicoBug'lanish manbalari uchun vakuumli yoy razryadidan foydalanadigan vakuumli ion qoplama texnologiyasidir. Ichi bo'sh katod razryadining issiq elektron yoyidan farqli o'laroq, uning yoy shakli sovuq katod yuzasida katod yoy dog'larining hosil bo'lishidir.
Vakuumli katod yoy ionining xususiyatlaricoquyidagilar:
(1) Bug'lanish manbai qattiq katod nishoni bo'lib, u eritilgan hovuzga ehtiyoj sezmasdan katod nishon manbaidan to'g'ridan-to'g'ri plazma hosil qiladi. Yoy nishon manbai bir xil qoplamani ta'minlash uchun istalgan yo'nalishda va bir nechta manbalarda joylashtirilishi mumkin.
(2) Uskunaning tuzilishi nisbatan sodda, ishchi gaz yoki yordamchi ionlash usullariga ehtiyoj sezmaydi. Yoy nishon manbai nafaqat katod materiali uchun bug'lanish manbai, balki ion manbai hamdir; Reaktiv cho'ktirish paytida faqat reaktiv gaz mavjud va atmosfera oddiy to'liq bosimni boshqarish yordamida boshqariladi.
(3) Ionlanish darajasi yuqori, odatda 60% ~ 80% ga etadi va cho'kish darajasi yuqori.
(4) Tushgan ion energiyasi yuqori va cho'ktirilgan plyonkaning plyonka/substrat bog'lanish kuchi yaxshi.
(5) Xavfsiz ishlash uchun past kuchlanishli quvvat manbaidan foydalanish.
(6) U metall plyonkalar, qotishma plyonkalar cho'ktirishi, turli xil birikma plyonkalarni (ammiak birikmalari, karbidlar, oksidlar) reaksiyaga kirishishi va sintez qilishi, hatto DLC plyonkalari, CN plyonkalari va boshqalarni sintez qilishi mumkin. Uning kamchiligi shundaki, cho'ktirish paytida maqsadli sirtdan suyuqlikning mayda tomchilari sachraydi, ular qoplangan plyonka qatlamida kondensatsiyalanadi va plyonka qatlamining pürüzlülüğünü oshiradi. Hozirgi vaqtda bu mikro tomchilarni kamaytirish va yo'q qilishning ko'plab samarali usullari o'rganilgan.
Vakuum yoyi ionicoAsboblar va qoliplar uchun o'ta qattiq himoya qoplamalarini qoplash uchun qoplama texnologiyasi keng qo'llanilgan. Plyonkali tizimlarga TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC va boshqalar kiradi. Qoplama mahsulotlariga asboblar, qoliplar va boshqalar kiradi. Oltin va rangli dekorativ himoya qoplamalarini taqlid qilish nuqtai nazaridan, plyonkali tizimlarga TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON va boshqalar kiradi. Rangli plyonkali tizimlarga qora, qora, binafsha, jigarrang, ko'k, yashil kulrang va boshqalar kiradi.
Ko'p yoyli ioncoAtting keng ko'lamli qo'llanilish doirasiga va kuchli amaliylikka ega, ayniqsa kesish asboblari, qoliplar va zanglamaydigan po'lat plitalar kabi materiallar yuzalariga dekorativ va aşınmaya bardoshli qattiq plyonka qatlamlarini qoplashda.
Nashr vaqti: 2023-yil 17-avgust