Вакуум катодын нуман ионcoатинг гэдэг нь вакуум нум гэж товчилдогcoХэрэв хоёр ба түүнээс дээш вакуум нуман ууршуулах эх үүсвэр (нуман эх үүсвэр гэж нэрлэдэг) ашиглавал үүнийг олон нуман ион гэж нэрлэдэг.coатинг эсвэл олон нуманcoЭнэ нь ууршуулах эх үүсвэрт вакуум нуман цэнэг зарцуулалтыг ашигладаг вакуум ионы бүрхүүлийн технологи юм. Хөндий катодын цэнэг зарцуулалтын халуун электрон нумаас ялгаатай нь түүний нуман хэлбэр нь хүйтэн катодын гадаргуу дээр катодын нуман толбо үүсэх явдал юм.
Вакуум катодын нуман ионы шинж чанаруудcoатууд нь:
(1) Ууршуулах эх үүсвэр нь хайлмал усан сан шаардлагагүйгээр катодын бай эх үүсвэрээс шууд плазм үүсгэдэг хатуу катодын бай юм. Нуман бай эх үүсвэрийг аль ч чиглэлд, олон эх үүсвэрээр байрлуулж, жигд бүрхүүлийг хангах боломжтой.
(2) Тоног төхөөрөмжийн бүтэц нь харьцангуй энгийн бөгөөд ажлын хий эсвэл туслах ионжуулалтын аргууд шаардлагагүй. Нуман байны эх үүсвэр нь зөвхөн катодын материалын ууршилтын эх үүсвэр төдийгүй ионы эх үүсвэр юм; Урвалттай тунадасны үед зөвхөн урвалд ордог хий байдаг бөгөөд агаар мандлыг энгийн бүрэн даралтын хяналтаар хянадаг.
(3) Ионжуулалтын түвшин өндөр, ерөнхийдөө 60% ~ 80% хүрдэг бөгөөд тунадасжих түвшин өндөр байдаг.
(4) Тусах ионы энерги өндөр бөгөөд хуримтлагдсан хальсны хальс/субстратын холболтын хүч сайн байна.
(5) Аюулгүй ажиллагааны хувьд бага хүчдэлийн цахилгаан хангамж ашиглах.
(6) Энэ нь металл хальс, хайлшийн хальсыг хуримтлуулж, янз бүрийн нэгдлүүдийн хальс (аммиакийн нэгдлүүд, карбидууд, исэлүүд)-ийг урвалд оруулж, нийлэгжүүлж, тэр ч байтугай DLC хальс, CN хальс гэх мэтийг нийлэгжүүлж чаддаг. Үүний сул тал нь хуримтлагдах үед бай гадаргуугаас жижиг шингэн дуслууд цацарч, бүрсэн хальсан давхаргад конденсацлагдаж, хальсан давхаргын барзгар байдлыг нэмэгдүүлдэг. Одоогийн байдлаар эдгээр бичил дуслыг багасгах, арилгах олон үр дүнтэй аргыг судалсан.
Вакуум нуман ионcoБагаж хэрэгсэл, хэвэнд зориулсан хэт хатуу хамгаалалтын бүрхүүлийг бүрэхэд технологийг өргөнөөр ашиглаж ирсэн. Кино системд TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC гэх мэт орно. Бүрхүүлтэй бүтээгдэхүүнд багаж хэрэгсэл, хэв гэх мэт орно. Алтлаг болон өнгөт гоёл чимэглэлийн хамгаалалтын бүрхүүлийн хувьд кино системд TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON гэх мэт орно. Өнгөт кино системд бууны хар, хар, нил ягаан, хүрэн, цэнхэр, ногоон саарал гэх мэт орно.
Олон нуман ионcoАтион нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй бөгөөд практик шинж чанартай, ялангуяа зүсэх хэрэгсэл, хэв, зэвэрдэггүй ган хавтан зэрэг материалын гадаргуу дээр гоёл чимэглэлийн болон элэгдэлд тэсвэртэй хатуу хальсан давхаргыг бүрэхэд онцгой ач холбогдолтой.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 8-р сарын 17