Vakuum katod qövs ionucoating qısaldılmış şəkildə vakuum qövsü kimi istifadə olunurcoƏgər iki və ya daha çox vakuum qövs buxarlanma mənbəyi (qövs mənbələri adlanır) istifadə olunursa, buna çoxqövslü ion deyilir.coating və ya çox qövslücoBuxarlanma mənbələri üçün vakuum qövs boşalmasından istifadə edən vakuum ion örtük texnologiyasıdır. İçi boş katod boşalmasının isti elektron qövsündən fərqli olaraq, onun qövs forması soyuq katodun səthində katod qövs ləkələrinin əmələ gəlməsidir.
Vakuum katod qövs ionunun xüsusiyyətləricoatanlar bunlardır:
(1) Buxarlanma mənbəyi bərk katod hədəfidir və əridilmiş hovuza ehtiyac olmadan katod hədəf mənbəyindən birbaşa plazma əmələ gətirir. Qövs hədəf mənbəyi vahid örtük təmin etmək üçün istənilən istiqamətdə və birdən çox mənbədə yerləşdirilə bilər.
(2) Avadanlığın strukturu nisbətən sadədir, işçi qaz və ya köməkçi ionlaşma metodlarına ehtiyac yoxdur. Qövs hədəf mənbəyi yalnız katod materialı üçün buxarlanma mənbəyi deyil, həm də ion mənbəyidir; Reaktiv çökmə zamanı yalnız reaktiv qaz mövcuddur və atmosfer sadə tam təzyiq nəzarəti ilə idarə olunur.
(3) İonlaşma sürəti yüksəkdir, ümumiyyətlə 60% ~ 80%-ə çatır və çökmə sürəti yüksəkdir.
(4) Düşən ion enerjisi yüksəkdir və çökdürülmüş filmin film/substrat bağlayıcı qüvvəsi yaxşıdır.
(5) Təhlükəsiz işləmə üçün aşağı gərginlikli enerji mənbəyindən istifadə.
(6) Metal təbəqələri, ərinti təbəqələrini çökdürə, müxtəlif birləşmə təbəqələrini (ammonyak birləşmələri, karbidlər, oksidlər) reaksiyaya girə və sintez edə, hətta DLC təbəqələrini, CN təbəqələrini və s. sintez edə bilər. Onun dezavantajı, çökdürmə zamanı hədəf səthindən kiçik maye damcılarının sıçramasıdır ki, bu da örtük təbəqəsində kondensasiya olur və təbəqənin kobudluğunu artırır. Hal-hazırda bu mikro damcıları azaltmaq və aradan qaldırmaq üçün bir çox təsirli üsullar öyrənilmişdir.
Vakuum qövs ionucoÖrtük texnologiyası alətlər və qəliblər üçün super sərt qoruyucu örtüklərin örtülməsi üçün geniş istifadə olunur. Film sistemlərinə TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC və s. daxildir. Örtük məhsullarına alətlər, qəliblər və s. daxildir. Qızılı təqlid və rəngli dekorativ qoruyucu örtüklər baxımından film sistemlərinə TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON və s. daxildir. Rəngli film sistemlərinə silah qara, qara, bənövşəyi, qəhvəyi, mavi, yaşıl boz və s. daxildir.
Çoxqövslü ioncoXüsusilə kəsici alətlər, qəliblər və paslanmayan polad lövhələr kimi materialların səthlərinə dekorativ və aşınmaya davamlı sərt film təbəqələrinin örtülməsində geniş tətbiq sahəsinə və güclü praktikliyə malikdir.
Yayımlanma vaxtı: 17 Avqust 2023