Ion ea arc ea cathode ea vacuumcoho thiba ho khutsufalitsoe e le vacuum arccoHaeba ho sebelisoa mehloli e 'meli kapa ho feta ea mouoane oa arc ea vacuum (e bitsoang mehloli ea arc), e bitsoa li-ion tse ngata tsa arccoho bokella kapa ho bokella li-arc tse ngatacoho lokisa. Ke theknoloji ea ho koahela li-ion tsa vacuum e sebelisang ho ntša metsi a arc ea vacuum bakeng sa mehloli ea mouoane. Ho fapana le arc e chesang ea elektrone ea ho ntša metsi a cathode e se nang letho, sebopeho sa eona sa arc ke ho thehoa ha matheba a arc ea cathode holim'a cathode e batang.
Litšobotsi tsa arc ion ea cathode ea vacuumcolintho tse latelang ke:
(1) Mohloli oa mouoane ke sepheo se tiileng sa cathode, se hlahisang plasma ka ho toba ho tsoa mohloling oa sepheo sa cathode ntle le tlhoko ea letamo le qhibilihisitsoeng. Mohloli oa sepheo sa arc o ka hlophisoa ka lehlakoreng lefe kapa lefe le mehloli e mengata ho netefatsa hore ho penta hoa tšoana.
(2) Sebopeho sa disebediswa se bonolo, ntle le tlhoko ya kgase e sebetsang kapa mekgwa e thusang ya ionization. Mohlodi wa sepheo sa arc ha se feela mohlodi wa mouwane bakeng sa thepa ya cathode, empa hape ke mohlodi wa ion; Nakong ya ho bewa ha reactive, ho na le kgase e arabelang feela, mme sepakapaka se laolwa ho sebediswa taolo e bonolo ya kgatello e felletseng.
(3) Sekhahla sa ionization se hodimo, ka kakaretso se fihla ho 60% ~ 80%, mme sekgahla sa ho bewa ha ion se hodimo.
(4) Matla a ioni a iketsahalletseng a phahame, mme matla a ho kopanya filimi/substrate a filimi e beilweng a matle.
(5) Ho sebedisa phepelo ya motlakase o nang le motlakase o tlase bakeng sa tshebetso e bolokehileng.
(6) E ka kenya difilimi tsa tshepe, difilimi tsa alloy, ya arabela le ho kopanya difilimi tse fapaneng tsa metsoako (metswako ya ammonia, dikharbide, di-oxide), esita le ho kopanya difilimi tsa DLC, difilimi tsa CN, jj. Bothata ba yona ke hore nakong ya ho kenya, marothodi a manyane a mokelikeli a qhalana ho tloha hodima sebaka se shebilweng, a kopanang lera la filimi le manehilweng mme a eketsa ho hlaka ha lera la filimi. Hona jwale, ho ithutilwe mekgwa e mengata e sebetsang ho fokotsa le ho fedisa marothodi ana a manyane.
Ione ea arc ea vacuumcoTheknoloji ea ho lokisa e sebelisitsoe haholo ho koahela liphahlo tse sireletsang tse thata haholo bakeng sa lisebelisoa le li-mold. Mekhoa ea lifilimi e kenyelletsa TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, jj. Lihlahisoa tsa ho koahela li kenyelletsa lisebelisoa, li-mold, jj. Mabapi le mekhabiso ea khauta le 'mala e sireletsang, litsamaiso tsa lifilimi li kenyelletsa TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, jj. Mekhoa ea lifilimi tsa 'mala e kenyelletsa botšo ba sethunya, botsho, bo pherese, bosootho, boputsoa bo botala bo bohlooho, jj.
Li-ion tse ngata tsa arccoAting e na le mefuta e mengata ea ts'ebeliso le ts'ebeliso e matla, haholo-holo ho maneheng mekhabiso le ho roala likarolo tse thata tsa filimi holim'a thepa e kang lisebelisoa tsa ho seha, hlobo le lipoleiti tsa tšepe e sa hloekang.
Nako ea poso: Phato-17-2023