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Panoramica del rivestimento ionico ad arco con catodo sottovuoto

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 23-08-17

arco catodico a vuoto ionicocoating è abbreviato come arco sottovuotocoSe vengono utilizzate due o più sorgenti di evaporazione ad arco sottovuoto (denominate sorgenti ad arco), si parla di evaporazione ionica multiarco.coaccoppiamento o multiarcocoSi tratta di una tecnologia di rivestimento ionico sottovuoto che utilizza la scarica ad arco sottovuoto come sorgente di evaporazione. A differenza dell'arco di elettroni caldi della scarica a catodo cavo, la sua forma ad arco consiste nella formazione di punti di arco catodico sulla superficie del catodo freddo.

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Le caratteristiche dell'arco catodico a vuotocoi seguenti sono:

(1) La sorgente di evaporazione è un bersaglio catodico solido, che genera direttamente il plasma dalla sorgente del bersaglio catodico senza la necessità di una pozza fusa. La sorgente del bersaglio ad arco può essere disposta in qualsiasi direzione e possono essere presenti più sorgenti per garantire un rivestimento uniforme.

(2) La struttura dell'apparecchiatura è relativamente semplice, senza necessità di gas di lavoro o metodi di ionizzazione ausiliari. La sorgente del bersaglio ad arco non è solo una sorgente di evaporazione per il materiale catodico, ma anche una sorgente di ioni; durante la deposizione reattiva, esiste solo gas reattivo e l'atmosfera è controllata mediante un semplice controllo completo della pressione.

(3) Il tasso di ionizzazione è elevato, generalmente raggiunge il 60%~80%, e il tasso di deposizione è elevato.

(4) L'energia degli ioni incidenti è elevata e la forza di adesione film/substrato del film depositato è buona.

(5) Utilizzo di un alimentatore a bassa tensione per un funzionamento sicuro.

(6) Può depositare pellicole metalliche, pellicole di lega, reagire e sintetizzare varie pellicole composte (composti di ammoniaca, carburi, ossidi) e persino sintetizzare pellicole DLC, pellicole CN, ecc. Il suo svantaggio è che durante la deposizione, minuscole goccioline di liquido vengono schizzate dalla superficie del bersaglio, che si condensano nello strato di pellicola rivestito e aumentano la rugosità dello strato di pellicola. Attualmente, sono stati studiati molti metodi efficaci per ridurre ed eliminare queste microgocce.

ione ad arco sottovuotocoLa tecnologia di rivestimento è stata ampiamente utilizzata per applicare rivestimenti protettivi superduri a utensili e stampi. I sistemi di film includono TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ecc. I prodotti rivestiti includono utensili, stampi, ecc. Per quanto riguarda i rivestimenti protettivi decorativi effetto oro e colorati, i sistemi di film includono TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ecc. I sistemi di film colorati includono nero canna di fucile, nero, viola, marrone, blu, verde grigio, ecc.

Ioni ad arco multiplocoLa verniciatura ha una vasta gamma di applicazioni e una grande praticità, soprattutto nel rivestimento di superfici di materiali come utensili da taglio, stampi e lamiere di acciaio inossidabile con strati di pellicola dura decorativi e resistenti all'usura.


Data di pubblicazione: 17 agosto 2023