Иони камони катоди вакуумӣcoатинг ҳамчун камони вакуумӣ ихтисор карда мешавадcoАгар ду ё зиёда манбаъҳои бухоршавии камони вакуумӣ (ҳамчун манбаъҳои камон номида шаванд) истифода шаванд, онро иони бисёркамона меномандcoкамоншакл ё бисёркамонӣcoИн технологияи пӯшонидани ионии вакуумӣ аст, ки барои манбаъҳои бухоршавӣ аз разряди камони вакуумӣ истифода мебарад. Баръакси камони электронии гарми разряди катоди холӣ, шакли камони он ташаккули доғҳои камони катод дар сатҳи катоди хунук аст.
Хусусиятҳои иони камони катоди вакуумӣcoмашқҳо инҳоянд:
(1) Манбаи бухоршавӣ як ҳадафи катоди сахт аст, ки плазмаро мустақиман аз манбаи ҳадафи катод бидуни ниёз ба ҳавзи гудохта тавлид мекунад. Манбаи ҳадафи камоншаклро метавон дар ҳар самт ва манбаъҳои сершумор ҷойгир кард, то пӯшиши якхела таъмин карда шавад.
(2) Сохтори таҷҳизот нисбатан содда аст, бидуни ниёз ба гази корӣ ё усулҳои ёрирасони ионизатсия. Манбаи ҳадафи камон на танҳо манбаи бухоршавӣ барои маводи катод, балки манбаи ион низ мебошад; Ҳангоми таҳшиншавии реактивӣ, танҳо гази реактивӣ вуҷуд дорад ва атмосфера бо истифода аз назорати оддии пурраи фишор идора карда мешавад.
(3) Суръати ионизатсия баланд буда, одатан ба 60% ~ 80% мерасад ва суръати таҳшиншавӣ баланд аст.
(4) Энергияи иони афтанда баланд аст ва қувваи пайвастшавии плёнка/субстрати плёнкаи гузошташуда хуб аст.
(5) Истифодаи манбаи барқи пастшиддат барои кори бехатар.
(6) Он метавонад плёнкаҳои металлӣ, плёнкаҳои хӯлаҳоро ҷойгир кунад, плёнкаҳои гуногуни мураккабро (пайвастагиҳои аммиак, карбидҳо, оксидҳо) реаксия ва синтез кунад ва ҳатто плёнкаҳои DLC, плёнкаҳои CN ва ғайраро синтез кунад. Камбудии он дар он аст, ки ҳангоми ҷойгиркунӣ қатраҳои хурди моеъ аз сатҳи ҳадаф пошида мешаванд, ки дар қабати плёнкаи пӯшида конденсатсия мешаванд ва ноҳамвории қабати плёнкаро зиёд мекунанд. Дар айни замон, бисёр усулҳои муассир барои кам кардан ва аз байн бурдани ин қатраҳои хурд омӯхта шудаанд.
Иони камони вакуумӣcoТехнологияи рангкунӣ барои пӯшонидани рӯйпӯшҳои муҳофизатии хеле сахт барои асбобҳо ва қолабҳо ба таври васеъ истифода шудааст. Системаҳои плёнка TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ва ғайраро дар бар мегиранд. Маҳсулоти пӯшиш асбобҳо, қолабҳо ва ғайраро дар бар мегиранд. Аз нигоҳи рӯйпӯшҳои муҳофизатии ороишии тиллоӣ ва ранга, системаҳои плёнка TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ва ғайраро дар бар мегиранд. Системаҳои плёнкаи ранга сиёҳ, сиёҳ, арғувонӣ, қаҳваранг, кабуд, хокистарии сабз ва ғайраро дар бар мегиранд.
Иони бисёрқаторӣcoИстифодаи васеъ ва амалӣ буданаш хеле муҳим аст, махсусан дар рӯйпӯш кардани қабатҳои плёнкаи сахти ороишӣ ва фарсудашавӣ дар рӯи маводҳо ба монанди асбобҳои буридан, қолабҳо ва табақҳои пӯлоди зангногир.
Вақти нашр: 17 августи соли 2023