Ion busur katoda vakumcoating disingkat sebagai busur vakumcoJika dua atau lebih sumber penguapan busur vakum (disebut sebagai sumber busur) digunakan, maka disebut penguapan multi busur.cobusur ganda atau busur gandacoating. Ini adalah teknologi pelapisan ion vakum yang menggunakan lucutan busur vakum sebagai sumber penguapan. Tidak seperti busur elektron panas dari lucutan katoda berongga, bentuk busurnya adalah pembentukan bintik-bintik busur katoda pada permukaan katoda dingin.
Karakteristik ionisasi busur katoda vakumcoyang mana adalah:
(1) Sumber penguapan adalah target katoda padat, yang secara langsung menghasilkan plasma dari sumber target katoda tanpa memerlukan kolam lelehan. Sumber target busur dapat diatur ke segala arah dan beberapa sumber untuk memastikan pelapisan yang seragam.
(2) Struktur peralatan relatif sederhana, tanpa memerlukan gas kerja atau metode ionisasi tambahan. Sumber target busur tidak hanya merupakan sumber penguapan untuk material katoda, tetapi juga sumber ion; Selama deposisi reaktif, hanya gas reaktif yang ada, dan atmosfer dikendalikan menggunakan kontrol tekanan penuh yang sederhana.
(3) Tingkat ionisasi tinggi, umumnya mencapai 60%~80%, dan tingkat pengendapan tinggi.
(4) Energi ion insiden tinggi, dan kekuatan ikatan film/substrat dari film yang diendapkan baik.
(5) Menggunakan catu daya tegangan rendah untuk pengoperasian yang aman.
(6) Ia dapat mengendapkan lapisan logam, lapisan paduan, bereaksi dan mensintesis berbagai lapisan senyawa (senyawa amonia, karbida, oksida), dan bahkan mensintesis lapisan DLC, lapisan CN, dll. Kekurangannya adalah selama pengendapan, tetesan kecil cairan terciprat dari permukaan target, yang mengembun di lapisan film yang dilapisi dan meningkatkan kekasaran lapisan film. Saat ini, banyak metode efektif telah dipelajari untuk mengurangi dan menghilangkan tetesan mikro ini.
Ion busur vakumcoTeknologi pelapisan telah banyak digunakan untuk melapisi lapisan pelindung superkeras untuk perkakas dan cetakan. Sistem film meliputi TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, dll. Produk pelapisan meliputi perkakas, cetakan, dll. Dalam hal pelapis pelindung dekoratif imitasi emas dan warna, sistem film meliputi TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, dll. Sistem film warna meliputi hitam keperakan, hitam, ungu, coklat, biru, hijau, abu-abu, dll.
Ion busur gandacoPelapisan memiliki berbagai macam aplikasi dan kepraktisan yang kuat, terutama dalam melapisi lapisan film keras dekoratif dan tahan aus pada permukaan material seperti alat potong, cetakan, dan pelat baja tahan karat.
Waktu posting: 17 Agustus 2023