Ion arka katod vakumcoating disingkatkan sebagai arka vakumcopengaliran. Jika dua atau lebih sumber penyejatan arka vakum (dirujuk sebagai sumber arka) digunakan, ia dipanggil ion berbilang arkacoarka berbilang atau arka berbilangcopengasingan. Ia merupakan teknologi salutan ion vakum yang menggunakan nyahcas arka vakum untuk sumber penyejatan. Tidak seperti arka elektron panas bagi nyahcas katod berongga, bentuk arkanya ialah pembentukan bintik-bintik arka katod pada permukaan katod sejuk.
Ciri-ciri ion arka katod vakumcoadalah:
(1) Sumber penyejatan ialah sasaran katod pepejal, yang menjana plasma secara langsung daripada sumber sasaran katod tanpa memerlukan kolam lebur. Sumber sasaran arka boleh disusun dalam sebarang arah dan pelbagai sumber untuk memastikan salutan seragam.
(2) Struktur peralatan agak mudah, tanpa memerlukan gas kerja atau kaedah pengionan tambahan. Sumber sasaran arka bukan sahaja sumber penyejatan untuk bahan katod, tetapi juga sumber ion; Semasa pemendapan reaktif, hanya gas reaktif yang wujud, dan atmosfera dikawal menggunakan kawalan tekanan penuh yang mudah.
(3) Kadar pengionan adalah tinggi, secara amnya mencapai 60% ~ 80%, dan kadar pemendapan adalah tinggi.
(4) Tenaga ion insiden adalah tinggi, dan daya ikatan filem/substrat filem yang termendap adalah baik.
(5) Menggunakan bekalan kuasa voltan rendah untuk operasi yang selamat.
(6) Ia boleh memendapkan filem logam, filem aloi, bertindak balas dan mensintesis pelbagai filem sebatian (sebatian ammonia, karbida, oksida), dan juga mensintesis filem DLC, filem CN, dan sebagainya. Kelemahannya ialah semasa pemendapan, titisan cecair kecil terpercik dari permukaan sasaran, yang mengembun dalam lapisan filem bersalut dan meningkatkan kekasaran lapisan filem. Pada masa ini, banyak kaedah berkesan telah dikaji untuk mengurangkan dan menghapuskan titisan mikro ini.
Ion arka vakumcoTeknologi penyaduran telah digunakan secara meluas untuk menyalut salutan pelindung super keras untuk alat dan acuan. Sistem filem termasuk TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, dan sebagainya. Produk salutan termasuk alat, acuan, dan sebagainya. Dari segi emas tiruan dan salutan pelindung hiasan berwarna, sistem filem termasuk TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, dan sebagainya. Sistem filem berwarna termasuk hitam pekat, hitam, ungu, coklat, biru, hijau kelabu, dan sebagainya.
Ion berbilang arkacoPenggilapan mempunyai pelbagai aplikasi dan praktikaliti yang tinggi, terutamanya dalam menyalut lapisan filem keras hiasan dan tahan haus pada permukaan bahan seperti alat pemotong, acuan dan plat keluli tahan karat.
Masa siaran: 17 Ogos 2023