Vacuüm kathode boog ioncoHet afkorten van 'vacuümboog' is een afkorting voor 'vacuümboog'.coAls er twee of meer vacuümboogverdampingsbronnen (ook wel boogbronnen genoemd) worden gebruikt, spreekt men van multiboogverdamping.coating of multi arccoHet is een vacuüm-ionencoatingtechnologie die gebruikmaakt van vacuümboogontlading als verdampingsbron. In tegenstelling tot de hete elektronenboog van een holle kathode-ontlading, bestaat de boogvorm uit de vorming van kathodeboogvlekken op het oppervlak van de koude kathode.
De kenmerken van vacuüm kathode boog ionencoHet eten bestaat uit:
(1) De verdampingsbron is een vaste kathode-target, die rechtstreeks plasma genereert vanuit de kathode-targetbron zonder dat een smeltbad nodig is. De boogtargetbron kan in elke richting worden geplaatst en er kunnen meerdere bronnen worden gebruikt om een uniforme coating te garanderen.
(2) De apparatuurstructuur is relatief eenvoudig, zonder dat er werkgas of hulpionisatiemethoden nodig zijn. De boogdoelbron is niet alleen een verdampingsbron voor het kathodemateriaal, maar ook een ionenbron; tijdens reactieve depositie is er alleen reactief gas aanwezig en wordt de atmosfeer geregeld met behulp van een eenvoudige drukregeling.
(3) De ionisatiesnelheid is hoog, doorgaans 60% tot 80%, en de afzettingssnelheid is hoog.
(4) De energie van de invallende ionen is hoog, en de hechtkracht tussen de film en het substraat van de afgezette film is goed.
(5) Gebruikmaken van een laagspanningsvoeding voor een veilige werking.
(6) Het kan metaalfilms en legeringsfilms afzetten, diverse samengestelde films (ammoniakverbindingen, carbiden, oxiden) laten reageren en synthetiseren, en zelfs DLC-films, CN-films, enz. synthetiseren. Het nadeel is dat tijdens het afzetten kleine druppeltjes vloeistof van het doeloppervlak spatten, die condenseren in de gecoate filmlaag en de ruwheid van de filmlaag vergroten. Momenteel worden veel effectieve methoden onderzocht om deze microdruppeltjes te verminderen en te elimineren.
VacuümboogioncoDe coatingtechnologie wordt veelvuldig gebruikt voor het aanbrengen van superharde beschermende coatings op gereedschappen en mallen. Filmsystemen omvatten TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, enz. Coatingproducten omvatten gereedschappen, mallen, enz. Wat betreft imitatiegoud en decoratieve beschermende coatings in verschillende kleuren, omvatten de filmsystemen TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, enz. Kleurfilmsystemen omvatten onder andere donkergrijs, zwart, paars, bruin, blauw, groen en grijs.
MultiboogioncoHet coaten van oppervlakken kent een breed scala aan toepassingen en is zeer praktisch, met name voor het aanbrengen van decoratieve en slijtvaste harde filmlagen op materialen zoals snijgereedschap, mallen en roestvrijstalen platen.
Geplaatst op: 17 augustus 2023